VACUUM PUMP

• Main Authors: SAKAGUCHI Yoshiyuki, TAKEDA Shunsuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.01.2021
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; WEAPONS

The purpose of the present invention is to provide a vacuum pump in which the strength of the fixing portion of a stator column is maintained, the conductance of an exhaust flow path is maintained, and the exhaust performance does not deteriorate even if the diameter of the rotor cylindrical section in the radial direction is reduced.　The vacuum pump according to an embodiment of the present invention includes a linked-type thread groove spacer which is a structure connecting a Siegbahn pump portion and a thread groove pump section, and when the outlet position of the thread groove, which is an exhaust flow path section of the linked-type thread groove spacer, is near the fixing portion (fixing bolt) of a stator column, the conductance of the exhaust flow path is lowered. Therefore, the phases of the thread peaks of the linked-type thread groove spacer and the installation position of the fixing portion of the stator column in the circumferential direction are aligned as much as possible. In other words, the thread groove of the linked-type thread groove spacer, which is the exhaust flow path, is provided within the circumferential direction of the installation position of the fixing portion of the stator column to suppress the decrease in the conductance of the exhaust flow path. L'objectif de la présente invention est de fournir une pompe à vide dans laquelle la résistance de la partie de fixation d'une colonne de stator est maintenue, la conductance d'un trajet d'écoulement d'échappement est maintenue et les performances d'échappement ne se détériorent pas même en cas de réduction du diamètre de la section cylindrique de rotor dans la direction radiale.　Selon un mode de réalisation de la présente invention, la pompe à vide comprend un élément d'espacement de rainure de filetage de type relié qui est une structure reliant une partie de pompe Siegbahn et une section de pompe à rainure de filetage, et lorsque la position de sortie de la rainure de filetage, qui est une section de trajet d'écoulement d'échappement de l'élément d'espacement de rainure de filetage de type relié, est proche de la partie de fixation (boulon de fixation) d'une colonne de stator, la conductance du trajet d'écoulement d'échappement est réduite. Par conséquent, les phases des pics de filetage de l'élément d'espacement de rainure de filetage de type relié et la position d'installation de la partie de fixation de la colonne de stator dans la direction circonférentielle sont alignées autant que possible. En d'autres termes, la rainure de filetage de l'élément d'espacement de rainure de filetage de type relié, qui est le trajet d'écoulement d'échappement, est disposée dans la direction circonférentielle de la position d'installation de la partie de fixation de la colonne de stator pour supprimer la réduction de la conductance du trajet d'écoulement d'échappement. ロータ円筒部の半径方向の径を小さくしても、ステータコラムの固定部の強度を保持し、排気流路のコンダクタンスを維持して、排気性能を低下させない真空ポンプを提供することを目的とする。　本発明の実施形態に係る真空ポンプでは、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造である連結型ネジ溝スペーサを備えており、この連結型ネジ溝スペーサの排気流路部であるネジ溝の出口位置が、ステータコラムの固定部（固定ボルト）付近になった場合、排気流路のコンダクタンスが低下する。そこで、連結型ネジ溝スペーサのネジ山とステータコラムの固定部の設置位置の周方向の位相を可能な限り揃える。別言すれば、排気流路である連結型ネジ溝スペーサのネジ溝をステータコラムの固定部の設置位置の周方向の間に設けるようにし、排気流路のコンダクタンスの低下を抑制する。