METHOD OF ESTIMATING CHARACTERISTIC VALUE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND SYSTEM FOR ESTIMATING CHARACTERISTIC VALUE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT

• Main Authors: MOMO, Junpei, OKANO, Tatsuya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.01.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a system for estimating a characteristic value of a semiconductor element. This system for estimating a characteristic value of a semiconductor element comprises an input unit, a database, and a processing unit. A first step list, a second step list, and a characteristic value of the semiconductor element are inputted to the input unit. The database has a function for storing a step list group and a characteristic value group of the semiconductor element. The processing unit has: a function for comparing two step lists chosen from the first step list and the step list group; a function for performing a test by using two or more characteristic values of the semiconductor element chosen from the characteristic value of the semiconductor element and the characteristic value group of the semiconductor element; a function for performing regression analysis between a parameter pertaining to a step and the two or more characteristic values of the semiconductor element chosen from the characteristic value of the semiconductor element and the characteristic value group of the semiconductor element; and a function for estimating a characteristic value of the semiconductor element from the second step list. Système d'estimation d'une valeur caractéristique d'un élément semi-conducteur. Ce système d'estimation d'une valeur caractéristique d'un élément semi-conducteur comprend une unité d'entrée, une base de données et une unité de traitement. Une première liste d'étapes, une seconde liste d'étapes et une valeur caractéristique de l'élément semi-conducteur sont entrées dans l'unité d'entrée. La base de données a une fonction de stockage d'un groupe de listes d'étapes et d'un groupe de valeurs caractéristiques de l'élément semi-conducteur. L'unité de traitement a : une fonction de comparaison de deux listes d'étapes choisies parmi la première liste d'étapes et le groupe de listes d'étapes ; une fonction de réalisation d'un test en utilisant deux valeurs caractéristiques ou plus de l'élément semi-conducteur choisies parmi la valeur caractéristique de l'élément semi-conducteur et le groupe de valeurs caractéristiques de l'élément semi-conducteur ; une fonction de réalisation d'une analyse de régression entre un paramètre relatif à une étape et les deux valeurs caractéristiques ou plus de l'élément semi-conducteur choisies parmi la valeur caractéristique de l'élément semi-conducteur et le groupe de valeurs caractéristiques de l'élément semi-conducteur ; et une fonction d'estimation d'une valeur caractéristique de l'élément semi-conducteur à partir de la seconde liste d'étapes. 半導体素子の特性値推定システムを提供する。 半導体素子の特性値推定システムは、入力部と、データベースと、処理部と、を有し、入力部には、 第１の工程リスト、第２の工程リスト、および半導体素子の特性値が入力され、データベースは、 工程リスト群、および半導体素子の特性値群を格納する機能を有し、処理部は、第１の工程リスト、 および工程リスト群の中から選ばれる、２つの工程リストの比較を行う機能と、半導体素子の特性 値、および半導体素子の特性値群の中から選ばれる、２つ以上の半導体素子の特性値を用いて検定 を行う機能と、工程に対するパラメータと、半導体素子の特性値、および半導体素子の特性値群の 中から選ばれる、２つ以上の半導体素子の特性値との回帰分析を行う機能と、第２の工程リストか ら、半導体素子の特性値を推定する機能と、を有する。