SELECTION OF REGIONS OF INTEREST FOR MEASUREMENT OF MISREGISTRATION AND AMELIORATION THEREOF

• Main Authors: VOLKOVICH, Roie, ZABERCHIK, Moran
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 30.12.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

A misregistration measurement and region of interest selection system (MMRSS) for measuring misregistration between at least two layers on a wafer in the manufacture of semiconductor devices, the MMRSS including a set of misregistration metrology tools, including at least two misregistration metrology tools, and a misregistration analysis and region of interest selection engine operative to: analyze a plurality of misregistration measurement data sets associated with a set of regions of interest (ROIs) of at least one measurement site on the wafer and at least partially generated by at least one first misregistration metrology tool, and wherein each of the data sets is associated with a set of quality metrics, identify a recommended ROI and communicate the recommended ROI to at least one second misregistration metrology tool of the set of misregistration metrology tools, the second misregistration metrology tool being operative to generate misregistration metrology data associated with the recommended ROI. L'invention concerne un système de mesure de désalignement et de sélection de région d'intérêt (MMRSS) pour mesurer un désalignement entre au moins deux couches sur une tranche dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteur, le MMRSS comprenant un ensemble d'outils de métrologie de désalignement, comprenant au moins deux outils de métrologie de désalignement, et un moteur d'analyse de désalignement et de sélection de région d'intérêt utilisable pour : analyser une pluralité d'ensembles de données de mesure de désalignement associés à un ensemble de régions d'intérêt (ROIs) d'au moins un site de mesure sur la tranche et au moins partiellement générés par au moins un premier outil de métrologie de désalignement, et chacun des ensembles de données étant associé à un ensemble de métriques de qualité, identifier une ROI recommandée et communiquer la ROI recommandée à au moins un second outil de métrologie de désalignement de l'ensemble d'outils de métrologie de désalignement, le second outil de métrologie de désalignement étant utilisable pour générer des données de métrologie de désalignement associées à la ROI recommandée.