RESONATOR AND RESONANCE DEVICE

• Main Author: NISHIMURA, Toshio
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.12.2020
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

The present invention further improves confinement of vibration. This resonator (10) comprises: a vibration unit 120 that includes an Si substrate F2 in which one main surface has an X-axis-direction width W and a Y-axis-direction length L, and that vibrates with contour vibration as the principal vibration; a holding unit 140 that is formed to surround at least some of the vibration unit 120; and a support arm 111 that extends along the Y-axis direction, and that connects the holding unit 140 and one Y-axis-direction end of the vibration unit 120. As regards the vibration unit 120, in a plan view of the one main surface, the X-axis-direction width W decreases toward one end from the Y-axis-direction position at which the width is maximum value Wmax, and toward the other Y-axis-direction end from the same position. La présente invention améliore le confinement d'une vibration. Ce résonateur (10) comprend : une unité de vibration (120) qui comprend un substrat de Si (F2) dans lequel une surface principale a une largeur W de direction d'axe X et une longueur L de direction d'axe Y, et qui vibre à l'aide d'une vibration de contour comme vibration principale ; une unité de maintien (140) qui est formée pour entourer au moins une partie de l'unité de vibration (120) ; et un bras de support (111) qui s'étend le long de la direction d'axe Y, et qui relie l'unité de maintien (140) et une extrémité dans la direction d'axe Y de l'unité de vibration (120). En ce qui concerne l'unité de vibration (120), dans une vue en plan de ladite surface principale, la largeur W dans la direction d'axe X diminue vers une extrémité à partir de la position dans la direction d'axe Y au niveau de laquelle la largeur est égale à la valeur maximale (Wmax), et vers l'autre extrémité dans la direction d'axe Y à partir de la même position. 振動の閉じ込め性をさらに向上させる。 共振子１０は、一方の主面がＸ軸方向の幅ＷとＹ軸方向の長さＬとを有するＳｉ基板Ｆ２を含み、輪郭振動を主振動として振動する振動部１２０と、振動部１２０の少なくとも一部を囲むように形成される保持部１４０と、Ｙ軸方向に沿って延在し、保持部１４０と振動部１２０におけるＹ軸方向の一端部とを接続する支持腕１１１と、を備え、振動部１２０は、一方の主面を平面視したときに、Ｘ軸方向の幅Ｗが、最大値ＷｍａｘとなるＹ軸方向の位置から一端部に向けて、及び当該位置からＹ軸方向の他端部に向けて、小さくなる。