SUBSTANCE ANALYZER AND SUBSTANCE ANALYSIS METHOD

• Main Authors: OSAKA Akimasa, TAKADA Yasuaki, SHISHIKA Tsukasa, KUMANO Shun, SUGIYAMA Masuyuki, YOSHIOKA Shinji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.12.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

In order to increase the selectivity of substance analysis, this substance analyzer is characterized by comprising: a heater (1) that heats a medium for collecting a chemical substance adhering to the surface of an inspection object (W); a mass spectrometer (2) that performs tandem mass spectrometry of the vapor derived from the chemical substance obtained from the medium by heating with the heater (1) and vaporization; and a control device (3) that causes the mass spectrometer (2) to perform the tandem mass spectrometry on the chemical substance that vaporizes at the temperature of the medium with respect to the vapor transferred from the heater (1) to the mass spectrometer (2) on the basis of the temperature of the medium in the heater (1). Afin d'augmenter la sélectivité d'une analyse de substances, l'invention concerne un analyseur de substances comprenant : un dispositif de chauffage (1) qui chauffe un milieu afin de collecter une substance chimique adhérant à la surface d'un objet d'inspection (W) ; un spectromètre de masse (2) qui effectue une spectrométrie de masse en tandem de la vapeur dérivée de la substance chimique obtenue en provenance du milieu par chauffage à l'aide du dispositif de chauffage (1) et d'une vaporisation ; et un dispositif de commande (3) qui provoque la réalisation par le spectromètre de masse (2) de la spectrométrie de masse en tandem sur la substance chimique se vaporisant à la température du milieu par rapport à la vapeur transférée depuis le dispositif de chauffage (1) vers le spectromètre de masse (2) en fonction de la température du milieu dans le dispositif de chauffage (1). 物質分析の選択性を高めるため、検査対象物（Ｗ）の表面に付着する化学物質を採取するための媒体を加熱していく加熱器（１）と、加熱器（１）により加熱され、気化することで媒体からされた化学物質に由来する蒸気を、タンデム質量分析する質量分析計（２）と、加熱器（１）における媒体の温度を基に、加熱器（１）から質量分析計（２）に送られた蒸気について、媒体の温度で気化する化学物質に関するタンデム質量分析を質量分析計（２）に実行させる制御装置（３）と、を有することを特徴とする。