ELECTROSTATIC DEVICE, ELECTROSTATIC DEVICE INTERMEDIATE BODY AND PRODUCTION METHOD

• Main Authors: TOSHIYOSHI, Hiroshi, HONMA, Hiroaki, MITSUYA, Hiroyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.12.2020
• Subjects: CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

An electrostatic device equipped with a fixed part, a movable part and an elastic support part for elastically supporting the movable part, all of which are formed on the same substrate, and also equipped with a first glass package which is anodically bonded to one surface among the front and rear surfaces of the substrate while in a state where the fixed part and the elastic support part are separated from one another, and a second glass package which is anodically bonded to the other surface among said front and rear surfaces while in a state where the fixed part and the elastic support part are separated from one another, and forms a sealed space in which the movable part is positioned between the first and second glass packages, wherein: an electret is formed in at least some of the fixed and movable parts; and a first electrode which is exposed to the outer surface of the second glass package and is connected to the fixed part and a second electrode which is exposed to the outer surface of the second glass package and is connected to the elastic support part are formed in the second glass package. La présente invention concerne un dispositif électrostatique équipé d'une partie fixe, d'une partie mobile et d'une partie de support élastique pour supporter élastiquement la partie mobile, dont toutes sont formées sur le même substrat, et également équipé d'un premier boîtier en verre qui est lié de manière anodique à une surface parmi les surfaces avant et arrière du substrat tout en étant dans un état où la partie fixe et la partie de support élastique sont séparées l'une de l'autre, et un second boîtier en verre qui est lié de manière anodique à l'autre surface parmi lesdites surfaces avant et arrière tout en étant dans un état où la partie fixe et la partie de support élastique sont séparées l'une de l'autre, et forme un espace scellé dans lequel la partie mobile est positionnée entre les premier et second boîtiers en verre. Dans ladite invention, un électret est formé dans au moins certaines des parties fixes et mobiles ; et une première électrode, qui est exposée à la surface extérieure du second boîtier en verre et qui est raccordée à la partie fixe, et une seconde électrode, qui est exposée à la surface extérieure du second boîtier en verre et qui est raccordée à la partie de support élastique, sont formées dans le second emballage en verre. 静電型デバイスは、同一の基板に形成された固定部、可動部および前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、前記基板の表裏両面の内の一方の面において、前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離した状態で陽極接合されている第１のガラスパッケージと、　前記表裏両面の内の他方の面において前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離した状態で陽極接合され、前記第１のガラスパッケージとの間に前記可動部が配置される密閉空間を形成する第２のガラスパッケージと、を備え、前記固定部および前記可動部の少なくとも一部にエレクトレットが形成されていて、前記第２のガラスパッケージには、前記固定部と接続され前記第２のガラスパッケージの外表面に露出する第１の電極と、前記弾性支持部と接続され前記第２のガラスパッケージの外表面に露出する第２の電極とが形成されている。