PULSED NON-THERMAL ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA PROCESSING SYSTEM

• Main Authors: SANDERS, Jason M, SINGLETON, Daniel, UMSTATTD, Ryan J, FORD, Patrick, THOMAS, Mark
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 12.11.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A system for generating and delivering a low temperature, wide, partially ionized tunable plasma stream is described. The system employs a fast rising, repetitive high voltage pulse generator, flowing gas, and a plasma head to produce the described atmospheric pressure plasma stream and its associated active species. The plasma head may have an exit slit with a relatively wide dimension to produce a relative wide plasma stream. Electrodes may be located proximate the exit slit, for example one in an interior of the plasma head via with gas flows toward the exit slit, and the other exterior to the plasma head and offset from the exit slit. The plasma may include baffle material to enhance a uniformity of flow through and across the exit slit. Plasma heads with having exit slit with different widths may be provided as a kit. L'invention concerne un système de génération et de distribution d'un flux de plasma accordable partiellement ionisé, large et à basse température. Le système utilise un générateur d'impulsions à haute tension répétitive à montée rapide, un écoulement de gaz, et une tête de plasma pour produire le flux de plasma à pression atmosphérique décrit et ses espèces actives associées. La tête de plasma peut avoir une fente de sortie ayant une dimension relativement large pour produire un flux de plasma large relatif. Des électrodes peuvent être situées à proximité de la fente de sortie, par exemple l'une à l'intérieur de la tête de plasma par l'intermédiaire de flux de gaz vers la fente de sortie, et l'autre extérieure à la tête de plasma et décalée par rapport à la fente de sortie. Le plasma peut comprendre un matériau déflecteur pour améliorer une uniformité de flux à travers et le long de la fente de sortie. Des têtes de Plasma ayant chacune une fente de sortie ayant différentes largeurs peuvent être fournies sous la forme d'un kit.