ELECTRON SOURCE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

• Main Authors: KATAGIRI Souichi, KASUYA Keigo, MATSUNAGA Soichiro, FUKUTA Masahiro, IKEGAMI Akira, HONDA Kazuhiro, DOI Takashi, TAKEI Aki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 22.10.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention makes it possible to stably emit a large-current electron beam from an electron gun of a charged particle beam device. The charged particle beam device is provided with an electron gun that has an SE tip (202), a suppressor (303) disposed in the rear of the leading end of the SE tip, and a cup-shaped extractor electrode (204) comprising a bottom surface and a cylindrical section, and in which the SE tip and the suppressor are contained in the extractor electrode and an insulator (208) that holds the suppressor and the extractor electrode is disposed between the suppressor and the extractor electrode. A shielding electrode (301) made of a conductive metal and having a cylindrical section (302) is disposed between the suppressor and the cylindrical section of the extractor electrode, and a voltage lower than the SE tip is applied to this shielding electrode. La présente invention permet d'émettre de manière stable un faisceau d'électrons à fort courant à partir d'un canon à électrons d'un dispositif à faisceau de particules chargées. Le dispositif à faisceau de particules chargées est pourvu d'un canon à électrons qui comporte une pointe SE (202), un suppresseur (303) disposé à l'arrière de l'extrémité avant de la pointe SE, et une électrode d'extracteur en forme de coupelle (204) comprenant une surface inférieure et une section cylindrique, et dans lesquelles la pointe SE et le suppresseur sont contenus dans l'électrode d'extracteur et un isolant (208) qui maintient le suppresseur et l'électrode d'extracteur est disposé entre le suppresseur et l'électrode d'extracteur. Une électrode de blindage (301), constituée d'un métal conducteur et présentant une section cylindrique (302), est disposée entre le suppresseur et la section cylindrique de l'électrode d'extracteur, et une tension inférieure à la pointe SE est appliquée à cette électrode de blindage. 荷電粒子線装置の電子銃から大電流の電子線を安定に放出させる。ＳＥチップ（２０２）と、ＳＥチップの先端よりも後方に配置されたサプレッサ（３０３）と、底面と筒部から成るカップ形状の引出電極（２０４）とを持ち、ＳＥチップとサプレッサが引出電極に内包され、サプレッサと引出電極との間に、これらを保持する碍子（２０８）をもつ電子銃を備え、サプレッサと引出電極の円筒部との間に、円筒部（３０２）を有する導電性金属の遮蔽電極（３０１）を設け、この遮蔽電極にＳＥチップよりも低い電圧を印加する。