METHOD FOR PRODUCING A GLASS BODY HAVING COOLING CHANNELS

• Main Authors: KALLER, Julian, EVA, Eric
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.10.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES; HOLOGRAPHY; IRRADIATION DEVICES; MATERIALS THEREFOR; NUCLEAR ENGINEERING; NUCLEAR PHYSICS; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCESIN A PLASTIC STATE; TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR; TRANSPORTING; WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL

The invention relates to a method for producing a glass body (1) having at least one cooling channel, preferably having a plurality of cooling channels (2). In one aspect, the method comprises: providing a first partial body (3a) and a second partial body (3b) of the glass body (1), forming at least one cooling channel (2) by working, in particular mechanically working, the glass material (4) at a surface (5a) of the first partial body (3a) and/or of the second partial body (3b), and producing the glass body (1) by joining the first partial body (3a) to the second partial body (3b) at the worked surface (5a) by high-temperature bonding. In a second aspect, the method comprises: embedding at least one placeholder (9a-e) made of a temperature-resistant material (10) into the glass material (4) of the glass body (1) during the production of the glass body (1), to form the at least one cooling channel (2) in the glass body (1). The invention also relates to a reflective optical element, in particular an EUV mirror, which has a substrate having at least one cooling channel (2) which has been produced from such a glass body (1), and also to an optical arrangement, in particular an EUV lithography system, having at least one such reflective optical element. La présente invention concerne un procédé de production d'un corps en verre (1) présentant au moins un canal de refroidissement, comportant de préférence une pluralité de canaux de refroidissement (2). Selon un aspect, le procédé consiste à : utiliser un premier corps partiel (3a) et un second corps partiel (3b) du corps en verre (1), former au moins un canal de refroidissement (2) par le travail, en particulier le travail mécanique, du matériau en verre (4) au niveau d'une surface (5a) du premier corps partiel (3a) et/ou du second corps partiel (3b), et produire le corps en verre (1) en assemblant le premier corps partiel (3a) au second corps partiel (3b) au niveau de la surface usinée (5a) par liaison à haute température. Selon un second aspect, le procédé consiste à : incorporer au moins un élément stabilisateur (9a-e) constitué d'un matériau résistant à la température (10) dans le matériau de verre (4) du corps en verre (1) lors de la production du corps en verre (1), pour former le ou les canaux de refroidissement (2) dans le corps en verre (1). La présente invention se rapporte également à un élément optique réfléchissant, en particulier un miroir EUV, qui comporte un substrat ayant au moins un canal de refroidissement (2) qui a été produit à partir dudit corps en verre (1), ainsi qu'à un agencement optique, en particulier un système de lithographie EUV, ayant au moins un élément optique réfléchissant de ce type.