MULTI-DIMENSIONAL MODEL OF OPTICAL DISPERSION

• Main Authors: SUSHCHIK, Mikhail, MALKOVA, Natalia, HU, Dawei, YGARTUA, Carlos L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 24.09.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Methods and systems for estimating values of parameters of interest from optical measurements of a sample early in a production flow based on a multidimensional optical dispersion (MDOD) model are presented herein. An MDOD model describes optical dispersion of materials comprising a structure under measurement in terms of parameters external to a base optical dispersion model. In some examples, a power law model describes the physical relationship between the external parameters and a parameter of the base optical dispersion model. In some embodiments, one or more external parameters are treated as unknown values that are resolved based on spectral measurement data. In some embodiments, one or more external parameters are treated as known values, and values of base optical dispersion model parameters, one or more external parameters having unknown values, or both, are resolved based on spectral measurement data and the known values of the one or more external parameters. L'invention concerne des procédés et des systèmes pour estimer des valeurs de paramètres d'intérêt à partir de mesures optiques d'un échantillon précocement dans un flux de production sur la base d'un modèle de dispersion optique multidimensionnelle (MDOD). Un modèle MDOD décrit une dispersion optique de matériaux comprenant une structure sous mesure en termes de paramètres externes à un modèle de dispersion optique de base. Dans certains exemples, un modèle de loi de puissance décrit la relation physique entre les paramètres externes et un paramètre du modèle de dispersion optique de base. Dans certains modes de réalisation, un ou plusieurs paramètres externes sont traités en tant que valeurs inconnues qui sont résolues sur la base de données de mesure spectrale. Dans certains modes de réalisation, un ou plusieurs paramètres externes sont traités en tant que valeurs connues, et valeurs de paramètres de modèle de dispersion optique de base, un ou plusieurs paramètres externes ayant des valeurs inconnues, ou les deux, sont résolus sur la base de données de mesure spectrale et des valeurs connues du ou des paramètres externes.