LIGHT SOURCE DEVICE FOR EXPOSURE, EXPOSURE DEVICE, AND EXPOSURE METHOD

• Main Authors: MATSUSHITA Tomohisa, ENOMOTO Yoshiyuki, YABE Shunichi, MATSUZAKA Masaaki, TAKASE Kazuhiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.09.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

The present invention provides a light source device for exposure that is able to synthesize light from a plurality of LED elements having different peak wavelengths, and is compactly configured, an exposure device using the light source device, and an exposure method. This light source device for exposure is provided with: a first LED array (71) having a plurality of first LED elements (72) that emit light of a first peak wavelength; a second LED array (75) having a plurality of second LED elements (76) that emit light of a second peak wavelength different from the first peak wavelength; a photosynthetic element (80) that is provided with two dichroic films (81) for transmitting light in a specific wavelength band and reflecting light in the other wavelength bands, and synthesizes light from the first and second LED arrays (71, 75); and a fly-eye lens (65) on which the light synthesized by the photosynthetic element (80) is incident. La présente invention concerne un dispositif de source de lumière pour exposition qui peut synthétiser de la lumière à partir d'une pluralité d'éléments de DEL ayant différentes longueurs d'onde de pic, et est configuré de manière compacte, un dispositif d'exposition utilisant le dispositif de source de lumière, et un procédé d'exposition. Le présent dispositif de source de lumière pour exposition comporte : un premier réseau de DEL (71) ayant une pluralité de premiers éléments de DEL (72) qui émettent de la lumière d'une première longueur d'onde de pic; un second réseau de DEL (75) ayant une pluralité de seconds éléments de DEL (76) qui émettent de la lumière d'une seconde longueur d'onde de pic différente de la première longueur d'onde de pic; un élément photosynthétique (80) qui est pourvu de deux films dichroïques (81) pour transmettre de la lumière dans une bande de longueur d'onde spécifique et réfléchir la lumière dans les autres bandes de longueur d'onde, et synthétise la lumière provenant des premier et second réseaux de DEL (71, 75); et une lentille à œil de mouche (65) sur laquelle la lumière synthétisée par l'élément photosynthétique (80) est incidente. 異なるピーク波長を有する複数のＬＥＤ素子の光を合成可能であり、且つコンパクトに構成された露光用の光源装置、該光源装置を用いた露光装置、及び露光方法を提供する。第１のピーク波長の光を発光する複数の第１のＬＥＤ素子（７２）を有する第１のＬＥＤアレイ（７１）と、第１のピーク波長と異なる第２のピーク波長の光を発光する複数の第２のＬＥＤ素子（７６）を有する第２のＬＥＤアレイ（７５）と、特定の波長帯域の光を透過させ、その他の波長帯域の光を反射させる２つのダイクロイック膜（８１）を備え、第１及び第２のＬＥＤアレイ（７１，７５）の光を合成する光合成素子（８０）と、光合成素子（８０）によって合成された光が入射されるフライアイレンズ（６５）と、を備える。