PEDESTALS FOR MODULATING FILM PROPERTIES IN ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) SUBSTRATE PROCESSING CHAMBERS

• Main Authors: CHANDRASEKHARAN, Ramesh, LAVOIE, Adrien, PHILLIPS, Richard, BALDASSERONI, Chloe, ROBERTS, Michael Philip
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 13.08.2020
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

A system to deposit a film on a substrate using atomic layer deposition includes a pedestal arranged in a processing chamber to support the substrate on a top surface of the pedestal when depositing the film on the substrate. A first annular recess in the pedestal extends downwardly from the top surface of the pedestal and radially inwardly from an outer edge of the pedestal towards an outer edge of the substrate. The first annular recess has an inner diameter that is greater than a diameter of the substrate. An annular ring is made of a dielectric material and is arranged around the substrate in the first annular recess. A second annular recess in the pedestal is located under the annular ring. The second annular recess has a height and extends radially inwardly from the outer edge of the pedestal towards the outer edge of the substrate. L'invention concerne un système pour déposer un film sur un substrat à l'aide d'un dépôt de couche atomique comprenant un socle disposé dans une chambre de traitement pour maintenir le substrat sur une surface supérieure du socle lors du dépôt du film sur le substrat. Un premier évidement annulaire dans le socle descend depuis la surface supérieure du socle et s'étend radialement vers l'intérieur depuis un bord extérieur du socle vers un bord extérieur du substrat. Le premier évidement annulaire a un diamètre interne qui est supérieur à un diamètre du substrat. Une bague annulaire est constituée d'un matériau diélectrique et est disposée autour du substrat dans le premier évidement annulaire. Un second évidement annulaire dans le socle est situé sous la bague annulaire. Le second évidement annulaire a une certaine hauteur et s'étend radialement vers l'intérieur depuis le bord extérieur du socle vers le bord extérieur du substrat.