COOLING UNIT, OBJECTIVE LENS MODULE, SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE, AND SEMICONDUCTOR INSPECTION METHOD

• Main Authors: TERADA Hirotoshi, NAKAMURA Tomonori, NONAKA Hirotaka, MATSUURA Hiroyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.07.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

This cooling unit is used in the inspection of a semiconductor device. The cooling unit comprises a jacket for releasing the heat of the semiconductor device. The jacket is provided with a light transmission part for transmitting light from the semiconductor device. The jacket comprises a space demarcating surface that, when the light transmission part faces the semiconductor device, faces the semiconductor device and demarcates a space between the space demarcating surface and the semiconductor device. The jacket is provided with a supply flow path within which a fluid to be supplied to the space flows. Cette unité de refroidissement est utilisée pour l'inspection d'un dispositif semi-conducteur. L'unité de refroidissement comprend une chemise pour libérer la chaleur du dispositif semi-conducteur. La chemise est pourvue d'une partie de transmission de lumière pour transmettre la lumière à partir du dispositif semi-conducteur. La chemise comprend une surface de démarcation d'espace qui, lorsque la partie de transmission de lumière fait face au dispositif semi-conducteur, est orientée vers le dispositif semi-conducteur et délimite un espace entre la surface de démarcation d'espace et le dispositif semi-conducteur. La chemise est pourvue d'un trajet d'écoulement d'alimentation à l'intérieur duquel s'écoule un fluide devant être acheminé vers l'espace. 冷却ユニットは、半導体デバイスの検査において用いられる。冷却ユニットは、半導体デバイスの熱を放熱するためのジャケットを備える。ジャケットには、半導体デバイスからの光を通過させる光通過部が設けられている。ジャケットは、光通過部が半導体デバイスと向かい合う状態において、半導体デバイスと向かい合って半導体デバイスとの間に空間を画定する空間画定面を有する。ジャケットには、空間に供給される流体が流れる供給流路が設けられている。