SUBSTRATE CHUCK FOR SELF-ASSEMBLY OF SEMICONDUCTOR LIGHT-EMITTING DIODES

• Main Authors: RHO, Junghun, CHOI, Bongwoon, YANG, Inbum, JUNG, Imdeok
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 11.06.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a method for manufacturing a display device and particularly to a substrate chuck for self-assembly of micro-LEDs. The present invention provides a substrate chuck for submerging one surface of a substrate in a fluid. The substrate chuck comprises: a first frame having a hole at the center part thereof; a second frame having a hole at the center part thereof and disposed so as to overlap the first frame; and a frame conveying unit which moves the second frame perpendicularly to the first frame, wherein the first frame is provided with a bottom part, in which the hole is formed, and a sidewall part formed at the edge of the bottom part, and the height of the sidewall part is greater than the depth to which the substrate is submerged in the fluid. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage et en particulier un mandrin de substrat pour l'auto-assemblage de micro-DEL. La présente invention concerne un mandrin de substrat pour immerger une surface d'un substrat dans un fluide. Le mandrin de substrat comprend : un premier cadre ayant un trou au niveau de la partie centrale de celui-ci; un second cadre ayant un trou au niveau de sa partie centrale et disposé de façon à chevaucher le premier cadre; et une unité de transport de cadre qui déplace le second cadre perpendiculairement au premier cadre, le premier cadre étant pourvu d'une partie inférieure, dans laquelle le trou est formé, et une partie de paroi latérale formée au niveau du bord de la partie inférieure, et la hauteur de la partie de paroi latérale est supérieure à la profondeur à laquelle le substrat est immergé dans le fluide. 본 발명은 디스플레이 장치의 제조방법에 관한 것으로 특히, 마이크로 엘이디의 자가조립을 위한 기판 척에 관한 것이다. 본 발명은 기판의 일면이 유체 내에 잠기도록 하기 위한 기판 척을 제공한다. 상기 기판 척은 중앙부에 홀이 형성되는 제1프레임, 중앙부에 홀이 형성되며, 상기 제1프레임과 오버랩되도록 배치되는 제2프레임, 상기 제2프레임을 상기 제1프레임에 대하여 수직 이동시키는 프레임 이송부를 포함하고, 상기 제1프레임은 상기 홀이 형성되는 바닥부 및 상기 바닥부의 테두리에 형성되는 측벽부를 구비하고, 상기 측벽부의 높이는 상기 기판이 유체에 잠기는 깊이보다 큰 것을 특징으로 한다.