OXIDE FILM THICKNESS MEASUREMENT DEVICE AND METHOD

• Main Authors: TAKAMATSU, Hiroyuki, NAKANISHI, Ryota, INUI, Masahiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 14.05.2020
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COLORIMETRY; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; METALLURGY; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

This oxide film thickness measurement device stores, for each of a plurality of sub-film-thickness measurement ranges obtained by dividing a film thickness measurement range, film thickness conversion information about the correspondence relationship between film thickness and emissivity resulting in the ratio of emissivity variation to film thickness variation within the sub-film-thickness measurement range being within a set range; measures the radiation brightnesses of the surface of a steel sheet at a plurality of different measurement wavelengths and the temperature of the surface of the steel sheet and determines the emissivities at each measurement wavelength; for each emissivity determined for each measurement wavelength, uses the film thickness conversion information corresponding to the measurement wavelength to determine the film thickness corresponding to the emissivity at the measurement wavelength and the ratio at the film thickness; and if the determined ratio is within a prescribed set range associated with the film thickness conversion information, extracts the determined film thickness as a candidate value for the actual film thickness. Le présent dispositif de mesure d'épaisseur de film d'oxyde stocke, pour chacune d'une pluralité de plages de mesure d'épaisseur de sous-film obtenues en divisant une plage de mesure d'épaisseur de film, des informations de conversion d'épaisseur de film concernant la relation de correspondance entre l'épaisseur de film et l'émissivité résultant du coefficient de variation d'émissivité par rapport à une variation d'épaisseur de film à l'intérieur de la plage de mesure d'épaisseur de sous-film se situant dans une plage définie ; mesure les luminosités de rayonnement de la surface d'une feuille d'acier à une pluralité de longueurs d'onde de mesure différentes et la température de la surface de la feuille d'acier et détermine les émissivités à chaque longueur d'onde de mesure ; pour chaque émissivité déterminée pour chaque longueur d'onde de mesure, utilise les informations de conversion d'épaisseur de film correspondant à la longueur d'onde de mesure pour déterminer l'épaisseur de film correspondant à l'émissivité à la longueur d'onde de mesure et le coefficient à l'épaisseur de film ; et si le coefficient déterminé se trouve dans une plage définie prescrite associée aux informations de conversion d'épaisseur de film, extrait l'épaisseur de film déterminée en tant que valeur candidate pour l'épaisseur de film réelle. 本発明の酸化膜厚測定装置は、膜厚測定範囲を区分けした複数のサブ膜厚測定範囲それぞれについて、このサブ膜厚測定範囲内では膜厚の変化に対する放射率の変化の割合が設定範囲内となる、膜厚と放射率との対応関係の膜厚変換情報を記憶し、鋼板表面の放射光輝度を異なる複数の測定波長で測定すると共にその温度を測定して前記複数の測定波長それぞれでの各放射率を求め、各測定波長ごとに求められた各放射率それぞれについて、当該測定波長に対応する膜厚変換情報を用いて、当該測定波長での放射率に対応する膜厚とこの膜厚での割合とを求め、この求めた割合が当該膜厚変換情報に対応付けられた所定の設定範囲内である場合に、この求めた膜厚を実際の膜厚の候補値として抽出する。