DEVICE AND METHOD FOR MEASURING OXIDE FILM THICKNESS

• Main Authors: TAKAMATSU, Hiroyuki, NAKANISHI, Ryota, INUI, Masahiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 14.05.2020
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; METALLURGY; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

In this device for measuring oxide film thickness, for each of a plurality of sub-film-thickness measurement ranges obtained by dividing a film thickness measurement range, film thickness conversion information is stored which indicates a correspondence between film thickness and synchrotron radiation intensity whereby the ratio of the change in synchrotron radiation intensity with respect to a change in film thickness is within a set range in the applicable sub-film-thickness measurement range, the synchrotron radiation intensity of a steel plate surface is measured at a plurality of different measurement wavelengths by each of a plurality of synchrotron radiation intensity measurement units, and a film thickness corresponding to the measured synchrotron radiation intensity and a ratio at said film thickness are determined, for each synchrotron radiation intensity of the steel plate surface respectively measured by the plurality of synchrotron radiation intensity measurement units, using the film thickness conversion information corresponding to the applicable synchrotron radiation intensity unit, and when the determined ratio is within a set range associated with the film thickness conversion information, the determined film thickness is extracted as a candidate value for the actual film thickness. L'invention concerne un dispositif de mesure de l'épaisseur d'un film d'oxyde dans lequel, pour chacune d'une pluralité de plages de mesure de sous-épaisseur du film obtenues par division d'une plage de mesure d'épaisseur du film, des informations de conversion d'épaisseur du film sont stockées qui indiquent une correspondance entre l'épaisseur du film et l'intensité du rayonnement synchrotron, le rapport du changement d'intensité du rayonnement synchrotron à un changement d'épaisseur du film se situant dans une plage définie dans la plage de mesure de sous-films applicable. L'intensité de rayonnement synchrotron d'une surface de plaque d'acier est mesurée à une pluralité de longueurs d'onde de mesure différentes par chacune d'une pluralité d'unités de mesure d'intensité de rayonnement synchrotron; et une épaisseur du film correspondant à l'intensité de rayonnement synchrotron mesurée et un rapport à ladite épaisseur du film sont déterminés, pour chaque intensité de rayonnement synchrotron de la surface de plaque d'acier respectivement mesurée par la pluralité d'unités de mesure d'intensité de rayonnement synchrotron, à l'aide des informations de conversion d'épaisseur du film correspondant à l'unité d'intensité de rayonnement synchrotron applicable. Et lorsque le rapport déterminé se situe dans une plage définie associée aux informations de conversion d'épaisseur du film, l'épaisseur du film déterminée est extraite en tant que valeur candidate pour l'épaisseur du film réelle. 本発明の酸化膜厚測定装置は、膜厚測定範囲を区分けした複数のサブ膜厚測定範囲それぞれについて、このサブ膜厚測定範囲内では膜厚の変化に対する放射光輝度の変化の割合が設定範囲内となる、膜厚と放射光輝度との対応関係の膜厚変換情報を記憶し、複数の放射光輝度測定部それぞれで鋼板表面の放射光輝度を異なる複数の測定波長で測定し、複数の放射光輝度測定部それぞれで測定された鋼板表面の各放射光輝度それぞれについて、当該放射光輝度測定部に対応する膜厚変換情報を用いて、その測定された放射光輝度に対応する膜厚とこの膜厚での割合とを求め、この求めた割合が当該膜厚変換情報に対応付けられた設定範囲内である場合に、この求めた膜厚を実際の膜厚の候補値として抽出する。