PLASMA GENERATING DEVICE

• Main Author: IKEDO, Toshiyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.04.2020
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

The present invention provides a plasma generating device capable of suppressing an electric discharge occurring through a gas flow passage. The plasma generating device comprises: a pair of electrodes that generates plasma gas via an electric discharge; a first nozzle unit that includes a plurality of first gas flow passages and causes plasma gas to flow through the plurality of first gas flow passages; a second nozzle unit that includes a plurality of second gas flow passages and causes plasma gas flowing thereinto from the plurality of first gas flow passages to jet through the plurality of second gas flow passages; and a separator that is provided at a position corresponding to the position between the pair of electrodes in the second nozzle unit and separates at least two gas flow passages among the plurality of first gas flow passages so that the two flow passages are not connected to each other. La présente invention concerne un dispositif de génération de plasma capable de supprimer une décharge électrique se produisant à travers un passage d'écoulement de gaz. Le dispositif de génération de plasma comprend : une paire d'électrodes qui génèrent un gaz plasma par l'intermédiaire d'une décharge électrique; une première unité de buse qui comprend une pluralité de premiers passages d'écoulement de gaz et amène le gaz plasma à s'écouler à travers la pluralité de premiers passages d'écoulement de gaz; une seconde unité de buse qui comprend une pluralité de seconds passages d'écoulement de gaz et amène le gaz de plasma s'écoulant dans celui-ci à partir de la pluralité de premiers passages d'écoulement de gaz à éjecter à travers la pluralité de seconds passages d'écoulement de gaz; et un séparateur qui est disposé à une position correspondant à la position entre la paire d'électrodes dans la seconde unité de buse et sépare au moins deux passages d'écoulement de gaz parmi la pluralité de premiers passages d'écoulement de gaz de telle sorte que les deux passages d'écoulement ne sont pas reliés l'un à l'autre. ガス流路を通じた放電の発生を抑制できるプラズマ発生装置を提供すること。　プラズマ発生装置は、放電によりプラズマガスを発生させる一対の電極と、複数の第１ガス流路を有し、複数の第１ガス流路によりプラズマガスを流す第１ノズル部と、複数の第２ガス流路を有し、複数の第１ガス流路から流入したプラズマガスを複数の第２ガス流路から噴出する第２ノズル部と、第２ノズル部における一対の電極の間に相当する位置に設けられ、複数の第１ガス流路のうち、少なくとも２つが互いに接続されないように遮断する遮断部と、を備える。