A LEVEL SENSOR AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS INCORPORATING A LEVEL SENSOR

• Main Authors: ZAAL, Oxana, BLOKS, Ruud, SRIVASTAVA, Sudhir, KUNNEN, Johan, LYONS, Joseph
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.04.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING

A level sensor system having a pneumatic sensor, a temperature sensor and a controller. The pneumatic sensor (10) has a reference outlet (100) for forming a reference gap (GR) with a reference surface (R) and a measurement outlet (200) for forming a measurement gap (GM) with a measurement surface, wherein the pneumatic sensor is configured to make a pneumatic sensor measurement indicative of a difference between a flow of gas out of the reference outlet and a flow of gas out of the measurement outlet. The temperature sensor (510a, b) is configured to make a temperature measurement indicative of a temperature of the reference surface and/or a temperature of the measurement surface. The controller (700) is configured to adjust the pneumatic sensor measurement based on the temperature measurement to generate a signal indicative of a difference in height between the reference gap and the measurement gap. La présente invention porte sur un système de capteur de niveau qui comprend un capteur pneumatique, un capteur de température et un dispositif de commande. Le capteur pneumatique (10) comporte une sortie de référence (100) pour former un espace de référence (GR) avec une surface de référence (R) et une sortie de mesure (200) pour former un espace de mesure (GM) avec une surface de mesure, le capteur pneumatique étant configuré pour effectuer une mesure de capteur pneumatique indiquant une différence entre un écoulement de gaz hors de la sortie de référence et un écoulement de gaz hors de la sortie de mesure. Le capteur de température (510a, 510b) est configuré pour effectuer une mesure de température indiquant une température de la surface de référence et/ou une température de la surface de mesure. Le dispositif de commande (700) est configuré pour ajuster la mesure de capteur pneumatique sur la base de la mesure de température pour générer un signal indiquant une différence de hauteur entre l'espace de référence et l'espace de mesure.