OUTPUT DEVICE FOR SURFACE FEATURES MEASUREMENT DATA AND SURFACE FEATURES MEASUREMENT DEVICE

• Main Authors: UDA Takushi, ABE Yoshihisa, TERAOKA Yoshitaka
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 19.03.2020
• Subjects: COLORIMETRY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

The present invention comprises: a single display device (1) for illumination that is capable of displaying an illumination pattern from a structured pattern having a cross-sectional intensity distribution that changes in a regular cycle; and a two-dimensional photoelectric conversion element (3) that, for each pixel, receives reflected light from a measurement site (100a) in a measurement target (100) when illumination light is illuminated on the measurement site from an illumination pattern, converting the reflected light to image data and outputting same. The image data is used to measure a parameter that depends on the reflection angle for each pixel at the measurement site. La présente invention comprend : un dispositif d'affichage unique (1) pour un éclairage qui permet d'afficher un motif d'éclairage à partir d'un motif structuré ayant une répartition d'intensité transversale qui varie selon un cycle régulier ; et un élément de conversion photoélectrique bidimensionnel (3) qui, pour chaque pixel, reçoit une lumière réfléchie en provenance d'un site de mesure (100a) dans une cible de mesure (100) lorsque la lumière d'éclairage est éclairée sur le site de mesure à partir d'un motif d'éclairage, convertissant la lumière réfléchie en données d'image et délivrant celles-ci. Les données d'image sont utilisées pour mesurer un paramètre qui dépend de l'angle de réflexion pour chaque pixel au niveau du site de mesure. 一定周期で変化する断面強度分布を有する構造化パターンからなる照明パターンを表示可能な単一の照明用表示装置（１）と、照明パターンから測定対象物（１００）の被測定部位（１００ａ）に対して照明光が照射されたときの被測定部位からの反射光を、画素毎に受光して画像データに変換し出力する二次元の光電変換素子（３）であって、画像データは被測定部位の各画素毎の反射角度特性に依存するパラメータを測定するのに使用される光電変換素子（３）と、を備えている。