A MULTIPLE WORKING DISTANCE HEIGHT SENSOR USING MULTIPLE WAVELENGTHS

• Main Author: PETTIBONE, Donald
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.03.2020
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A system is disclosed. The system includes a stage assembly configured to receive a specimen and maintain a height of the specimen at a first working distance height during a first characterization mode and an additional working distance height during an additional characterization mode. The system further includes an illumination source configured to generate an illumination beam. The system further includes an illumination arm including a set of optical elements configured to direct a portion of the illumination beam including illumination of a first wavelength to the specimen during the first characterization mode, and direct a portion of the illumination beam including illumination of an additional wavelength to the specimen during the additional characterization mode. The system further includes a detector assembly configured to receive illumination emanated from the specimen, and a controller configured to determine a specimen height value based on the illumination received by the detector assembly. L'invention concerne un système. Le système comprend un ensemble étage conçu pour recevoir un échantillon et maintenir une hauteur de l'échantillon à une première hauteur de distance de travail pendant un premier mode de caractérisation et à une hauteur de distance de travail supplémentaire pendant un mode de caractérisation supplémentaire. Le système comprend en outre une source d'éclairage conçue pour générer un faisceau d'éclairage. Le système comprend en outre un bras d'éclairage comprenant un ensemble d'éléments optiques conçus pour diriger une partie du faisceau d'éclairage comprenant un éclairage d'une première longueur d'onde vers l'échantillon pendant le premier mode de caractérisation, et pour diriger une partie du faisceau d'éclairage comprenant l'éclairage d'une longueur d'onde supplémentaire vers l'échantillon pendant le mode de caractérisation supplémentaire. Le système comprend en outre un ensemble détecteur conçu pour recevoir un éclairage émis par l'échantillon, et un dispositif de commande conçu pour déterminer une valeur de hauteur d'échantillon sur la base de l'éclairage reçu par l'ensemble détecteur.