METALLIC MICROSTRUCTURE AND DETECTION DEVICE

• Main Authors: YANAGAWA Hiroto, KANNO Takashi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.02.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Provided is a metallic microstructure capable of detecting, with high sensitivity, a low concentration substance to be detected. A metallic microstructure according to the present disclosure is provided with: a base substrate (2022) having a plurality of protrusions (2022a) arranged at certain intervals; and a plurality of convex structures (2023a) that are composed of metal films (2023) covering the base substrate and are irradiated with light to generate surface plasmon. The film thickness (t2) of the metal films positioned on the bottom of gaps between neighboring convex structures among the plurality of the convex structures is greater than the height (t3) of the plurality of protrusions, and is 90 to 100% of the film thickness (t1) of the metal films deposited on the top portions of the plurality of protrusions. L'invention concerne une microstructure métallique capable de détecter, avec une sensibilité élevée, une substance à faible concentration à détecter. Une microstructure métallique selon la présente invention comprend : un substrat de base (2022) ayant une pluralité de saillies (2022a) disposées à certains intervalles ; et une pluralité de structures convexes (2023a) qui sont composées de films métalliques (2023) recouvrant le substrat de base et qui sont irradiées avec de la lumière pour générer un plasmon de surface. L'épaisseur de film (t2) des films métalliques positionnés sur le fond d'espaces entre des structures convexes voisines parmi la pluralité des structures convexes est supérieure à la hauteur (t3) de la pluralité de saillies et est égale à 90 à 100 % de l'épaisseur de film (t1) des films métalliques déposés sur les parties supérieures de la pluralité de saillies. 本開示は、低濃度の被検出物質を高感度に検出することができる金属微細構造体を提供する。本開示による金属微細構造体は、所定の間隔で配置された複数の突起部（２０２２ａ）を有する基材（２０２２）と、基材を被覆している金属膜（２０２３）から構成され、光が照射されることによって表面プラズモンを生じさせる複数の凸状構造体（２０２３ａ）とを備えている。複数の凸状構造体のうち隣り合う凸状構造体の隙間の底部に位置する金属膜の膜厚（ｔ２）は、複数の突起部の高さ（ｔ３）より大きく、かつ、複数の突起部の頂部上に堆積された金属膜の膜厚（ｔ１）の９０％以上１００％以下の厚みである。