METHOD AND METROLOGY APPARATUS FOR DETERMINING ESTIMATED SCATTERED RADIATION INTENSITY

• Main Authors: DIRKS, Remco, MOSSAVAT, Seyed Iman, SMILDE, Hendrik
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.02.2020
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A method of determining an estimated intensity of radiation scattered by a target illuminated by a radiation source, has the following steps: obtaining and training (402) a library REFLIB of wavelength- dependent reflectivity as a function of the wavelength, target structural parameters and angle of incidence R(λ,θ,x,y); determining (408) a wide-band library (W-BLIB) of integrals of wavelength-dependent reflectivity R of the target in a Jones framework over a range of radiation source wavelengths λ; training (TRN) (410) the wide-band library; and determining (412), using the trained wide-band library, an estimated intensity (INT) of radiation scattered by the target illuminated by the radiation source. L'invention concerne un procédé de détermination d'une intensité estimée de rayonnement dispersé par une cible éclairée par une source de rayonnement, lequel procédé comprend les étapes suivantes, consistant à : obtenir et former (402) une bibliothèque REFLIB (bibliothèque de référence) de réflectivité dépendant de la longueur d'onde en fonction de la longueur d'onde, de paramètres structurels cibles et d'un angle d'incidence R(λ,θ,x,y) ; déterminer (408) une bibliothèque à large bande (W-BLIB) d'intégrales de réflectivité R dépendant de la longueur d'onde de la cible dans un cadre de Jones sur une plage de longueurs d'onde de source de rayonnement λ ; faire effectuer un apprentissage (TRN) (410) à la bibliothèque à large bande ; et déterminer (412), à l'aide de la bibliothèque à large bande ayant effectué un apprentissage, une intensité estimée (INT) du rayonnement dispersé par la cible éclairée par la source de rayonnement.