SYSTEMS AND METHODS FOR VAPORIZATION AND VAPOR DISTRIBUTION
Distributor assemblies for vapor transport deposition systems, and methods of conducting vapor transport deposition, are described. La présente invention concerne des ensembles de distributeur pour des systèmes de dépôt par transport de vapeur, et des procédés de conduite d'un dépôt par transpo...
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Format | Patent |
Language | English French |
Published |
13.02.2020
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Summary: | Distributor assemblies for vapor transport deposition systems, and methods of conducting vapor transport deposition, are described.
La présente invention concerne des ensembles de distributeur pour des systèmes de dépôt par transport de vapeur, et des procédés de conduite d'un dépôt par transport de vapeur. |
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Bibliography: | Application Number: WO2019US45854 |