OPTICAL SYSTEM EVALUATION DEVICE AND OPTICAL SYSTEM EVALUATION METHOD

• Main Authors: YANAGISAWA, Takayuki, SUZUKI, Masataka
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.02.2021
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; MEASURING; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

This optical system evaluation device comprises a spatial light modulation unit (1) for adding wavefront aberration to the light from a plurality of point light sources, a spread function calculation unit (5) for using electrical signals generated by imaging elements (3-1 to 3-J) to calculate point image spread functions indicating the intensity distributions of point images corresponding to the light from the respective light sources, a pixel phase estimation unit (6) for using the electrical signals generated by the imaging elements (3-1 to 3-J) to estimate point image pixel phases for the point images corresponding to the light from the respective light sources, and a spread function generation unit (7) for using the point image pixel phases estimated by the pixel phase estimation unit (6) to generate a high-resolution PSF having a higher resolution than the plurality of PSFs calculated by the spread function calculation unit (5). A wavefront aberration estimation unit 8 estimates the wavefront aberration of an image formation optical system on the basis of the high-resolution PSF generated by the spread function generation unit (7). La présente invention concerne un dispositif d'évaluation de système optique qui comprend une unité de modulation de lumière spatiale (1) pour ajouter une aberration de front d'onde à la lumière provenant d'une pluralité de sources de lumière ponctuelles, une unité de calcul de fonction d'étalement (5) pour utiliser des signaux électriques générés par des éléments d'imagerie (3-1 à 3-J) pour calculer des fonctions d'étalement d'image de point indiquant les distributions d'intensité d'images de point correspondant à la lumière provenant des sources de lumière respectives, une unité d'estimation de phase de pixel (6) pour utiliser les signaux électriques générés par les éléments d'imagerie (3-1 à 3-J) pour estimer des phases de pixel d'image de point pour les images de point correspondant à la lumière provenant des sources de lumière respectives, et une unité de génération de fonction d'étalement (7) pour utiliser les phases de pixels d'image de point estimées par l'unité d'estimation de phase de pixel (6) pour générer une PSF à haute résolution ayant une résolution supérieure à la pluralité de PSF calculées par l'unité de calcul de fonction d'étalement (5). Une unité d'estimation d'aberration de front d'onde 8 estime l'aberration de front d'onde d'un système optique de formation d'image sur la base de la PSF à haute résolution générée par l'unité de génération de fonction d'étalement (7). 複数の点光源からのそれぞれの光に波面収差を加える空間光変調部（１）と、撮像素子（３－１～３－Ｊ）により生成された電気信号から、それぞれの光に対応する点像の強度分布を示す点像分布関数を算出する分布関数算出部（５）と、撮像素子（３－１～３－Ｊ）により生成された電気信号から、それぞれの光に対応する点像について点像画素位相を推定する画素位相推定部（６）と、画素位相推定部（６）により推定された点像画素位相に基づいて、分布関数算出部（５）により算出された複数のＰＳＦから、複数のＰＳＦよりも分解能が高い高分解能ＰＳＦを生成する分布関数生成部（７）と備え、波面収差推定部８が、分布関数生成部（７）により生成された高分解能ＰＳＦから、結像光学系の波面収差を推定するように、光学系評価装置を構成した。