ION MILLING DEVICE

• Main Authors: TAKASU Hisayuki, KANEKO Asako
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.12.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The present invention obtains an ion milling device capable of performing high-speed milling processing even on a sample containing a material having an imide bond. Accordingly, the ion milling device has: a vacuum chamber 6 for holding a sample 3 in a vacuum atmosphere; an ion gun 1 for irradiating the sample with an unfocused ion beam 2; a vaporizing container 17 for storing a mixed solution 13 of an ionic liquid soluble in water and water; and nozzles 11, 12 for supplying vapor obtained by vaporizing the mixed solution to the vicinity of the surface of the sample to be processed by the ion beam. La présente invention concerne l'obtention d'un dispositif de gravure ionique permettant d'appliquer un traitement de gravure à grande vitesse même à un échantillon contenant un matériau ayant une liaison imide. Par conséquent, le dispositif de gravure ionique comprend : une chambre à vide 6 servant à maintenir un échantillon 3 dans une atmosphère de vide ; un canon ionique 1 servant à exposer l'échantillon à un faisceau ionique non focalisé 2 ; un récipient de vaporisation 17 servant à contenir une solution mélangée 13 d'un liquide ionique soluble dans l'eau et d'eau ; et des buses 11, 12 servant à fournir de la vapeur obtenue par vaporisation de la solution mélangée au voisinage de la surface de l'échantillon à traiter par le faisceau ionique. イミド結合を有する材料を含む試料に対しても、高速にミリング加工可能なイオンミリング装置を実現する。このため、イオンミリング装置は、試料３を真空雰囲気に保持する真空チャンバー６と、試料に非集束のイオンビーム２を照射するイオン銃１と、水溶性のイオン液体と水との混合溶液１３を蓄える気化容器１７と、混合溶液を気化させた水蒸気を、イオンビームによる試料の加工面の近傍に供給するノズル１１，１２とを有する。