CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND AXIS ADJUSTMENT METHOD THEREFOR

• Main Authors: TAKAHOKO Yoshihiro, IMAI Yuta, SASAJIMA Masahiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 28.11.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention achieves a charged particle beam device in which axis adjustment as a compound lens is facilitated by aligning the axis of an electrostatic lens resulting from a decelerating field with the axis of a magnetic field lens. This charged particle beam device comprises: an electron source 2; an objective lens 4 for focusing a probe electron beam from the electron source on a sample; a first beam tube 8 and a second beam tube 9 through which the probe electron beam is made to pass; a decelerating electrode 10 arranged between the first beam tube 8 and the sample 12; a first voltage source 15 that forms a decelerating field for the probe electron beam between the first beam tube 8 and the decelerating electrode 10 by applying a first potential to the first beam tube 8; and a movement mechanism 11 that moves the position of the first beam tube 8. La présente invention permet d'obtenir un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel un réglage d'axe en tant que lentille composite est facilité par un alignement de l'axe d'une lentille électrostatique obtenu par un champ de décélération avec l'axe d'une lentille de champ magnétique. Le présent dispositif à faisceau de particules chargées comprend : une source d'électrons 2 ; une lentille d'objectif 4 servant à focaliser un faisceau d'électrons de mesure provenant de la source d'électrons sur un échantillon ; un premier tube 8 de faisceau et un second tube 9 de faisceau que le faisceau d'électrons de mesure est amené à traverser ; une électrode de décélération 10 disposée entre le premier tube 8 de faisceau et l'échantillon 12 ; une première source de tension 15 qui forme un champ de décélération du faisceau d'électrons de mesure entre le premier tube 8 de faisceau et l'électrode de décélération 10 par application d'un premier potentiel au premier tube 8 de faisceau ; et un mécanisme de déplacement 11 qui déplace la position du premier tube 8 de faisceau. 減速電界による静電レンズの軸を磁場レンズの軸に一致させることで、重畳レンズとしての軸調整を容易とした荷電粒子線装置を実現する。荷電粒子線装置は、電子源２と、電子源からのプローブ電子線を試料に集束させる対物レンズ４と、プローブ電子線を通過させる第１ビーム管８及び第２ビーム管９と、第１ビーム管８と試料１２との間に配置される減速電極１０と、第１ビーム管８に第１電位を印加することにより、第１ビーム管８と減速電極１０との間で、プローブ電子線に対する減速電界を形成する第１電圧源１５と、第１ビーム管８の位置を移動させる移動機構１１とを有する。