OXIDE SPACER HCG VCSELS AND FABRICATION METHODS

• Main Authors: COOK, Kevin T, WANG, Jiaxing, CHANG-HASNAIN, Constance J, QI, Jipeng
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 14.11.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY

A high-contrast grating (HCG) structure and method of fabrication. The grating of the HCG is formed over a structural spacer layer, allowing a wider range of grating patterns, such as post and other forms which are lack structural support when fabricated over an air spacing beneath the grating elements. The technique involves etching the HCG grating, followed by oxidizing through this HCG grating into an oxide spacer layer beneath it creating a low-index area beneath the grating. This form of HCG reflector can be utilizes as upper and/or lower reflectors in fabricating vertical cavity surface emitting lasers (VCSELs). L'invention concerne une structure de réseau à contraste élevé (HCG) et un procédé de fabrication. Le réseau HCG est formé sur une couche d'espacement structurelle, ce qui permet une plus large plage de motifs de réseau, tels qu'un montant et d'autres formes qui constituent un support structurel manquant lorsque le réseau est fabriqué sur un espacement d'air au-dessous des éléments de réseau. La technique consiste à graver le réseau HCG, puis à oxyder à travers ce réseau HCG en une couche d'espacement d'oxyde au-dessous de celui-ci, créant une zone à faible indice au-dessous du réseau. Cette forme de réflecteur HCG peut être utilisée en tant que réflecteurs supérieur et/ou inférieur dans la fabrication de lasers à cavité verticale et à émission par la surface (VCSEL).