FOIL SHEET ASSEMBLIES FOR ION IMPLANTATION

• Main Authors: CHANEY, Craig R, SARGENT, James A, MCLAUGHLIN, Adams M, ABESHAUS, Joshua M
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A foil liner comprising a plurality of foil layers is disclosed. The foil layers may each be an electrically conductive material that are stacked on top of each other. The spacing between adjacent foil layers may create a thermal gradient such that the temperature of the plasma is hotter than the temperature of the ion source chamber. In other embodiments, the foil layers may be assembly to sink the heat from the plasma so that the plasma is cooler than the temperature of the ion source chamber. In some embodiments, gaps or protrusions are disposed on one or more of the foil layers to affect the thermal gradient. In certain embodiments, one or more of the foil layers may be constructed of an insulating material to further affect the thermal gradient. The foil liner may be easily assembled, installed and replaced from within the ion source chamber. L'invention concerne un revêtement en feuille comprenant une pluralité de couches de feuille. Les couches de feuille peuvent être chacune un matériau électroconducteur et sont empilées les unes sur les autres. L'espacement entre les couches de feuille adjacentes peut créer un gradient thermique de telle sorte que la température du plasma est plus chaude que la température de la chambre de source d'ions. Selon d'autres modes de réalisation, les couches de feuille peuvent être assemblées pour dissiper la chaleur provenant du plasma de telle sorte que le plasma est plus froid que la température de la chambre de source d'ions. Selon certains modes de réalisation, des espaces ou des saillies sont disposés sur une ou plusieurs des couches de feuille pour affecter le gradient thermique. Selon certains modes de réalisation, une ou plusieurs des couches de feuille peuvent être constituées d'un matériau isolant afin d'affecter davantage le gradient thermique. Le revêtement en feuille peut être facilement assemblé, installé et remplacé à partir de l'intérieur de la chambre de source d'ions.