IMPROVED PERFORMANCE EXTRACTION SET

• Main Authors: CALKINS, Adam Moritz, ALLEN, Ernest E
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An extraction set including an extraction plate, a blocker and the holding mechanism for the blocker is disclosed. The extraction set includes an extraction plate that may be constructed of titanium coated with a ceramic material. The extraction plate is attached to the ion source using pins. The extraction plate also includes raised outline in its inner surface which is used to secure the blocker to the inner surface of the extraction plate. The ends of the blocker are secured by two holders disposed on opposite sides of the extraction aperture. The mechanism used for attaching the extraction plate to the ion source also improves the temperature uniformity of the extraction plate. L'invention concerne un ensemble d'extraction comprenant une plaque d'extraction, un bloqueur et le mécanisme de maintien pour le dispositif de blocage. L'ensemble d'extraction comprend une plaque d'extraction qui peut être constituée de titane revêtu d'un matériau céramique. La plaque d'extraction est fixée à la source d'ions à l'aide de broches. La plaque d'extraction comprend également un contour surélevé, dans sa surface interne, qui est utilisé pour fixer le bloqueur à la surface interne de la plaque d'extraction. Les extrémités du bloqueur sont fixées par deux supports disposés sur des côtés opposés de l'ouverture d'extraction. Le mécanisme utilisé pour fixer la plaque d'extraction à la source d'ions améliore également l'uniformité de température de la plaque d'extraction.