ULTRAPURE WATER PRODUCTION SYSTEM AND ULTRAPURE WATER PRODUCTION METHOD

• Main Authors: NAGATA Shiori, NOGUCHI Yukio, TANJI Akira
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.10.2019
• Subjects: CHEMISTRY; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEPARATION; TRANSPORTING; TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE

The purpose of the present invention is to provide an ultrapure water production system and an ultrapure water production method capable of shortening a startup period after sterilization of the ultrapure water production system. Provided is an ultrapure water production system 1 that includes an ultrafiltration membrane device 2 and a fine particle filter 3 which are connected in series, and that produces ultrapure water by treating treatment-water with the ultrafiltration membrane device 2 and the fine particle filter 3, in that order, wherein: the ultrafiltration device 2 has a removal rate of 99.8% or more of fine particles having a particle diameter of 20 nm or more; and the fine particle filter 3 is equipped with an oxidizing agent resistant filter membrane. Also provided is an ultrapure water production method. La présente invention concerne un système de production d'eau ultra-pure et un procédé de production d'eau ultrapure capable de raccourcir une période de démarrage après la stérilisation du système de production d'eau ultrapure. L'invention concerne un système de production d'eau ultrapure 1 qui comprend un dispositif à membrane d'ultrafiltration 2 et un filtre à particules fines 3 qui sont raccordés en série, et qui produit de l'eau ultra pure par traitement d'eau de traitement avec le dispositif à membrane d'ultrafiltration 2 et le filtre à particules fines 3, dans cet ordre, dans lequel : le dispositif d'ultrafiltration 2 présente un taux d'élimination de 99,8 % ou plus de particules fines ayant un diamètre de particule de 20 nm ou plus ; et le filtre à particules fines 3 est équipé d'une membrane filtrante résistante aux agents oxydants. L'invention concerne également un procédé de production d'eau ultrapure. 超純水製造システムの殺菌後の立ち上げ期間を短縮することのできる超純水製造システム及び超純水製造方法を提供すること。 直列に接続された限外ろ過膜装置２及び微粒子フィルター３を有し、被処理水を前記限外ろ過膜装置２と前記微粒子フィルター３で順に処理して超純水を製造する超純水製造システム１であって、前記限外ろ過膜装置２は、粒子径２０ｎｍ以上の微粒子の除去率が９９．８％以上であり、前記微粒子フィルター３は、耐酸化剤性のろ過膜を具備する超純水製造システム１及び超純水製造方法。