VACUUM DEVICE AND MASS SPECTROMETER

• Main Author: HOSOI, Kosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.10.2019
• Subjects: ACTUATING-FLOATS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BLASTING; COCKS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; TAPS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; VALVES; WEAPONS

In this mass spectrometer, a first chamber and a second chamber communicate via an opening. When a closing part 34 moves toward an opening 51 due to the actions of a first displacement mechanism and a second displacement mechanism, a contact 38 moves along with the closing part 34 toward the opening 51. The opening 51 is then closed up by the closing part 34. Due to the opening 51 being closed up, the opening in the second chamber is closed up. The contact 38 comes into contact with an electrode 5. A detection unit 40 detects a change in voltage or current of the contact 38. Thus, the closed state of an opening 201 can be detected merely by the detection unit 40 detecting the change in voltage or current. La présente invention concerne un spectromètre de masse dans lequel une première chambre et une seconde chambre communiquent par l'intermédiaire d'une ouverture. Lorsqu'une partie de fermeture (34) se déplace vers une ouverture (51) en raison des actions d'un premier mécanisme de déplacement et d'un second mécanisme de déplacement, un contact (38) se déplace conjointement avec la partie de fermeture (34) vers l'ouverture (51). L'ouverture (51) est ensuite refermée par la partie de fermeture (34). En raison de la fermeture de l'ouverture (51), l'ouverture dans la seconde chambre est fermée. Le contact (38) entre en contact avec une électrode (5). Une unité de détection (40) détecte un changement de tension ou de courant dans le contact (38). Ainsi, l'état fermé d'une ouverture (201) peut être détecté simplement par l'unité de détection (40) qui détecte le changement de tension ou de courant. 質量分析装置では、第１チャンバと第２チャンバとは、開口を介して連通している。第１変位機構及び第２変位機構の動作により閉塞部３４が開口５１に向かって移動すると、接触子３８は、閉塞部３４とともに開口５１に向かって移動する。そして、開口５１が閉塞部３４により閉鎖される。開口５１が閉鎖されることで、第２チャンバの開口が閉鎖される。また、接触子３８は、電極５に接触する。検知部４０は、接触子３８の電圧又は電流の変化を検知する。このように、検知部４０により電圧又は電流の変化を検知するのみで、開口２０１の閉鎖状態を検知できる。