PLASMA PROCESSING MACHINE

• Main Authors: IKEDO, Toshiyuki, JINDO, Takahiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 08.08.2019
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

In order to provide a practical plasma processing machine, a mounting mechanism 50 for mounting a plasma head 14 onto a mounting section 52 of a head-moving device for moving the plasma head is provided. Since the plasma head can be mounted and removed the plasma head is, for example, readily swapped for a different type of plasma head, removed for maintenance, and mounted after maintenance. Afin de fournir une machine de traitement au plasma pratique, un mécanisme de montage 50 pour monter une tête de plasma 14 sur une section de montage 52 d'un dispositif de déplacement de tête pour déplacer la tête de plasma est proposé. Étant donné que la tête de plasma peut être montée et retirée, la tête de plasma est, par exemple, facilement remplacée par un type différent de tête de plasma, retirée pour l'entretien et montée après l'entretien. 実用的なプラズマ処理機を提供するために、プラズマヘッド１４を、そのプラズマヘッドを移動させるヘッド移動装置の取付部５２に取り付けるための取付機構５０を設ける。プラズマヘッドの着脱が可能であるため、例えば、異なる型式のプラズマヘッドに交換したり、メンテナンスのための取り外し，メンテナンス後の取付等を行うことが容易である。