WAVEFRONT MEASUREMENT DEVICE AND WAVEFRONT MEASUREMENT SYSTEM

• Main Authors: YANAGISAWA, Takayuki, ITAKURA, Shigetaka, ANADA, Takayasu, SUZUKI, Masataka
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 25.07.2019
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

This wavefront measurement device (2A) comprises: a first pupil-function-generation unit (11) for generating a first pupil function for a fundamental wavelength on the basis of input data for wavefront aberration; a first image-plane-amplitude-calculation unit (12) for calculating a first image plane amplitude for the fundamental wavelength on the basis of the first pupil function; a second pupil-function-generation unit (21) for generating a second pupil function for a multi-wavelength region; a second image-plane-amplitude-calculation unit (22) for calculating a second image plane amplitude for the multi-wavelength region on the basis of the second pupil function; a PSF correction unit (23) for correcting a measured point spread function using the first and second image plane amplitudes; a constraint application unit (13) for correcting the first image plane amplitude by applying, to the first image plane amplitude, constraints using the corrected point spread function; a third pupil-function-generation unit (14) for generating a third pupil function on the basis of the corrected first image plane amplitude; and a wavefront calculation unit (15) for calculating pupil plane wavefront aberration on the basis of the third pupil function. L'invention concerne un dispositif de mesure de front d'onde (2A) qui comprend : une première unité de génération de fonction de pupille (11) pour générer une première fonction de pupille pour une longueur d'onde fondamentale sur la base de données d'entrée pour une aberration de front d'onde; une première unité de calcul d'amplitude de plan d'image (12) pour calculer une première amplitude de plan d'image pour la longueur d'onde fondamentale sur la base de la première fonction de pupille; une deuxième unité de génération de fonction de pupille (21) pour générer une deuxième fonction de pupille pour une région de longueurs d'onde multiples; une seconde unité de calcul d'amplitude de plan d'image (22) pour calculer une seconde amplitude de plan d'image pour la région à longueurs d'onde multiples sur la base de la seconde fonction de pupille; une unité de correction de PSF (23) pour corriger une fonction d'étalement de point mesuré à l'aide des première et seconde amplitudes de plan d'image; une unité d'application de contrainte (13) pour corriger la première amplitude de plan d'image en appliquant, à la première amplitude de plan d'image, des contraintes à l'aide de la fonction d'étalement de point corrigée; une troisième unité de génération de fonction de pupille (14) pour générer une troisième fonction de pupille sur la base de la première amplitude de plan d'image corrigée; et une unité de calcul de front d'onde (15) pour calculer une aberration de front d'onde de plan de pupille sur la base de la troisième fonction de pupille. 波面計測装置（２Ａ）は、波面収差の入力データに基づいて基準波長における第１の瞳関数を生成する第１瞳関数生成部（１１）と、第１の瞳関数を基に基準波長における第１の像面振幅を算出する第１像面振幅算出部（１２）と、多波長域における第２の瞳関数を生成する第２瞳関数生成部（２１）と、第２の瞳関数を基に多波長域における第２の像面振幅を算出する第２像面振幅算出部（２２）と、第１および第２の像面振幅を用いて、測定された点像分布関数を補正するＰＳＦ補正部（２３）と、当該補正された点像分布関数を用いた拘束条件を第１の像面振幅に適用して第１の像面振幅を補正する拘束条件適用部（１３）と、当該補正された第１の像面振幅を基に第３の瞳関数を生成する第３瞳関数生成部（１４）と、第３の瞳関数を基に瞳面上の波面収差を算出する波面算出部（１５）とを備える。