ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE

• Main Authors: HAYAHARA Ryuuji, ISHIMURA Kazunori, KOUNO Hitoshi, KINPARA Yuuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.07.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; SEMICONDUCTOR DEVICES

This electrostatic chuck device is provided with: an electrostatic chuck unit having, as a primary surface, a mounting surface for mounting a planar test piece thereon, and provided with an electrode for electrostatic attraction; a base unit which is disposed on the side opposite to the mounting surface with respect to the electrostatic chuck unit and cools the electrostatic chuck unit; a heater disposed in a layered manner inside the electrostatic chuck unit or between the electrostatic chuck unit and the base unit; and an adhesive layer that integrates the electrostatic chuck unit and the base unit by adhesion. A first through-hole is provided in the electrostatic chuck unit. A second through-hole that communicates with the first through-hole is provided in the base unit. A third through-hole that communicates with the first through-hole and the second through-hole is provided in the adhesive layer. A cylindrical insulator is fixed in the second through-hole. The electrostatic chuck unit-side tip of the insulator is spaced away from the electrostatic chuck unit by a space. L'invention concerne un dispositif de mandrin électrostatique comprenant : une unité de mandrin électrostatique ayant, en tant que surface primaire, une surface de montage pour le montage d'une pièce d'essai plane sur celle-ci, et comprenant une électrode pour attraction électrostatique ; une unité de base qui est disposée sur le côté opposé à la surface de montage par rapport à l'unité de mandrin électrostatique et refroidissant l'unité de mandrin électrostatique ; un élément chauffant disposé de manière stratifiée à l'intérieur de l'unité de mandrin électrostatique ou entre l'unité de mandrin électrostatique et l'unité de base ; et une couche adhésive qui intègre l'unité de mandrin électrostatique et l'unité de base par adhérence. Un premier trou traversant est prévu dans l'unité de mandrin électrostatique. Un second trou traversant qui communique avec le premier trou traversant est prévu dans l'unité de base. Un troisième trou traversant qui communique avec le premier trou traversant et le second trou traversant est ménagé dans la couche adhésive. Un isolant cylindrique est fixé dans le second trou traversant. La pointe côté unité de mandrin électrostatique de l'isolant est espacée de l'unité de mandrin électrostatique par un espace. 一主面として板状試料を載置する載置面を有し、静電吸着用電極を備える静電チャック部と、静電チャック部に対し載置面とは反対側に配置され静電チャック部を冷却するベース部と、静電チャック部とベース部との間、または静電チャック部の内部に層状に配置されたヒータと、静電チャック部とベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、静電チャック部には、第１の貫通孔が設けられ、ベース部には、第１の貫通孔と連通する第２の貫通孔が設けれ、接着層には、第１の貫通孔および第２の貫通孔と連通する第３の貫通孔が設けれ、第２の貫通孔には、筒状の絶縁碍子が固定され、絶縁碍子の静電チャック部側の先端は、静電チャック部と空間を介して離間している静電チャック装置。