X-RAY INSPECTION DEVICE

• Main Authors: ITO Yoshiyasu, HIGUCHI Akifusa, YOSHIHARA Sei, ASANO Shigematsu, MATSUSHIMA Naoki, UMEGAKI Shiro, OGATA Kiyoshi, HORADA Katsutaka, MOTONO Hiroshi, OMOTE Kazuhiko, TAKAHASHI Hideaki, YAMAGUCHI Ryotaro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.07.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

This X-ray inspection device is provided with: a sample disposing section 11, on which a sample to be inspected is disposed; a sample disposing section aligning mechanism 30 that moves the sample disposing section 11; a goniometer 20 including first and second rotating members 22, 23 that independently rotate; an X-ray irradiation unit 40 mounted on the first rotating member 22; and a two-dimensional X-ray detector 50 mounted on the second rotating member 23. The sample disposing section aligning mechanism 30 includes a × rotating mechanism 35 that rotates the sample disposing section 11 and a χ axis about a χ axis, which is orthogonal to a θs axis and a θd axis at a measuring point P, and which extends in the horizontal direction. La présente invention concerne un dispositif d'inspection à rayons X qui est pourvu de : une section de disposition d'échantillon 11, sur laquelle un échantillon à inspecter est disposé ; un mécanisme d'alignement de section de disposition d'échantillon 30 qui déplace la section de disposition d'échantillon 11 ; un goniomètre 20 comprenant des premier et deuxième éléments rotatifs 22, 23 qui tournent indépendamment ; une unité d'irradiation de rayons X 40 montée sur le premier élément rotatif 22 ; et un détecteur de rayons X bidimensionnel 50 monté sur le deuxième élément rotatif 23. Le mécanisme d'alignement de section de disposition d'échantillon 30 comprend un mécanisme de rotation x 35 qui fait tourner la section de disposition d'échantillon 11 et un axe χ autour d'un axe χ, qui est orthogonal à un axe θs et un axe θd au niveau d'un point de mesure P, et qui s'étend dans la direction horizontale. 本発明のＸ線検査装置は、検査対象となる試料を配置する試料配置部１１と、試料配置部１１を移動させる試料配置部位置決め機構３０と、独立して旋回する第１，第２の旋回部材２２，２３を含むゴニオメータ２０と、第１の旋回部材２２に搭載されたＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回部材２３に搭載された二次元Ｘ線検出器５０とを備えている。そして、試料配置部位置決め機構３０は、測定点Ｐでθs軸及びθd軸と直交しかつ水平方向に延びるχ軸を中心に、試料配置部１１及びφ軸を回転させるχ回転機構３５を含んでいる。