METHOD FOR PRODUCING A MEASURING DEVICE

• Main Authors: KOBER, Timo, OPPERMANN, Hermann, ZIERMANN, Rene
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 27.06.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Es ist ein Verfahren zur Herstellung einer Messeinrichtung, die einen mittels einer ersten Glaslötung (5) mit einem ersten Stützkörper (3) verbundenen Drucksensor (1, 31) umfasst, beschrieben, bei dem Glaslot (23) auf eine Fügefläche (15) einer in der Messeinrichtung dem Drucksensor (1, 31) zugewandten Stirnfläche (17) des ersten Stützkörpers (3) und/oder auf eine Fügefläche (19) einer in der Messeinrichtung dem ersten Stützkörper (3) zugewandten Stirnfläche (21) des Drucksensors (1, 31) aufgebracht wird, eine Anordnung erzeugt wird, in der der Drucksensor (1, 31) und der erste Stützkörper (3) derart aufeinander angeordnet werden, dass deren Fügeflächen (15, 19) einander zugewandt sind, und ein Lötverfahren ausgeführt wird, bei dem die Anordnung auf eine Fügetemperatur erwärmt wird. Dabei wird erfindungsgemäß eine über deren gesamte Grundfläche hinweg möglichst homogene Schichtdicke der Glaslötung (5) erzielt, indem in der Anordnung zwischen außerhalb der Fügeflächen (15, 19) liegenden Bereichen der einander zugewandten Stirnflächen (17, 21) des Drucksensors (1, 31) und des ersten Stützkörpers (3) eine erste Abstands-Haltevorrichtung (25) vorgesehen wird, die einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der größer als ein thermischer Ausdehnungskoeffizient des Glaslots (23) ist, und deren von der Temperatur abhängige Höhe derart bemessen ist, dass sie bei der Fügetemperatur im Wesentlichen gleich einer in Abhängigkeit von einer Soll-Schichtdicke der ersten Glaslötung (5) vorgegebenen Höhe ist und in einem unterhalb der Fügetemperatur liegenden Einsatztemperaturbereich der Messeinrichtung echt kleiner als eine Schichtdicke der ersten Glaslötung (5) ist. The invention relates to a method for producing a measuring device, which comprises a pressure sensor (1, 31) connected to a first supporting body (3) by means of a first glass soldering (5), in which the glass solder (23) is applied to a joining area (15) of an end face (17) of the first supporting body (3) that faces the pressure sensor (1, 31) in the measuring device and/or to a joining area (19) of an end face (21) of the pressure sensor (1, 31) that faces the first supporting body (3) in the measuring device, an arrangement is produced in which the pressure sensor (1, 31) and the first supporting body (3) are arranged on each other in such a way that their joining areas (15, 19) face each other, and a soldering method is carried out, in which the arrangement is heated to a joining temperature. According to the invention, a layer thickness of the glass soldering (5) that is as homogeneous as possible over its entire base surface is achieved in that, in regions of the mutually facing end faces (17, 21) of the pressure sensor (1, 31) and the first supporting body (3) that are located outside the joining areas (15, 19) in the arrangement, a first distance-maintaining device (25) is provided, which has a thermal expansion coefficient which is greater than a thermal expansion coefficient of the glass solder (23), and the temperature-dependent height of which is dimensioned such that at the joining temperature the temperature is substantially equal to a height predefined as a function of an intended layer thickness of the first glass soldering (5) and, in a temperature range of use of the measuring device that lies below the joining temperature, is truly smaller than a layer thickness of the first glass soldering (5). L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de mesure qui comprend un capteur de pression (1, 31) relié à un premier support (3) au moyen d'un premier verre de soudure (5), selon lequel le verre de soudure (23) est appliqué sur une surface de jonction (15) d'une face frontale (17) du premier support (3) tournée vers le capteur de pression (1, 31) du dispositif de mesure et/ou sur une surface de jonction (19) d'une face frontale (21) du capteur de pression (1, 31) orientée vers le premier support (3) du dispositif de mesure. Un agencement est généré dans lequel le capteur de pression (1, 31) et le premier corps support (3) sont disposés l'un sur l'autre de telle sorte que leurs surfaces de jonction (15, 19) se font face, et un processus de brasage est exécuté, dans lequel le dispositif est porté à une température de jonction. Selon l'invention, une épaisseur de couche du verre de soudure (5) aussi homogène que possible sur toute sa surface de base est obtenue en ce qu'un premier dispositif d'espacement (25) est prévu dans la disposition entre des régions des faces frontales (17, 21) du capteur de pression (1, 31) qui sont tournées l'une vers l'autre et sont situées en dehors des surfaces de jonction (15, 19) et du premier support (3), qui présente un coefficient de dilatation thermique qui est supérieur à un coefficient de dilatation thermique du verre de soudure (23) et dont la hauteur, qui dépend de la température, est dimensionnée de telle sorte qu'à la température de jonction elle soit sensiblement égale à une hauteur prédéterminée en fonction d'une épaisseur de couche souhaitée du premier verre de soudure (5) et, dans une plage de température de fonctionnement du dispositif de mesure qui est inférieure à la température de jonction, est réellement plus petite que l'épaisseur du premier verre de soudure (5).