CAPACITANCE-TYPE PRESSURE SENSOR

• Main Authors: YAMAMOTO, Junya, MASUDA, Takahiro, MIYAHARA, Chihiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.05.2019
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

Peeling apart of a flexible substrate and a hard substrate is suppressed. A capacitance-type pressure sensor provided with: a flexible substrate including a first electrode, the flexible substrate being flexible; a hard substrate including a second electrode disposed facing the first electrode, the hard substrate being disposed facing the flexible substrate across a hollow part between the flexible substrate and the hard substrate; a joining part between the flexible substrate and the hard substrate, the joining part being provided so as to surround the hollow part and joining the flexible substrate and the hard substrate; and a reinforcing resin provided between the flexible substrate and the hard substrate and in the vicinity of the joining part; the capacitance-type pressure sensor being such that, in the hollow part, pressure applied toward a surface of the first electrode facing the second electrode is measured by detecting a change in capacitance produced due to flexing of the first electrode relative to the second electrode, and the reinforcing resin covers part of the flexible substrate, part of the hard substrate, and part of the joining part. Selon la présente invention, le décollement d'un substrat flexible et d'un substrat dur est supprimé. La présente invention concerne un capteur de pression de type capacitif qui est pourvu de : un substrat flexible comprenant une première électrode, le substrat flexible étant flexible ; un substrat dur comprenant une deuxième électrode disposée face à la première électrode, le substrat dur étant disposé face au substrat flexible de part et d'autre d'une partie creuse entre le substrat flexible et le substrat dur ; une partie de jonction entre le substrat flexible et le substrat dur, la partie de jonction étant disposée de façon à entourer la partie creuse et assembler le substrat flexible et le substrat dur ; et une résine de renforcement disposée entre le substrat flexible et le substrat dur et à proximité de la partie de jonction ; le capteur de pression de type capacitif étant tel que, dans la partie creuse, la pression appliquée sur une surface de la première électrode faisant face à la deuxième électrode est mesurée par détection d'un changement de capacité survenant en raison de la flexion de la première électrode par rapport à la deuxième électrode, et la résine de renforcement recouvre une partie du substrat flexible, une partie du substrat dur, et une partie de la partie de jonction. フレキシブル基板と硬質基板との剥離を抑制する。静電容量式圧力センサは、第１の電極を含み、可撓性を有するフレキシブル基板と、第１の電極に対向して配置される第２の電極を含み、フレキシブル基板との間に中空部を介してフレキシブル基板に対向配置された硬質基板と、フレキシブル基板と硬質基板との間であって、中空部を囲むように設けられ、フレキシブル基板と硬質基板とを接合する接合部と、接合部の周囲であって、フレキシブル基板と硬質基板との間に設けられた補強樹脂と、を備え、中空部において、第１の電極が第２の電極に対して撓むことで生じる静電容量の変化を検出することにより、第１の電極における第２の電極との対向面に向けて印加される圧力を測定し、補強樹脂が、フレキシブル基板の一部、硬質基板の一部および接合部の一部を覆っている。