MAGNETIC FIELD MEASURING ELEMENT, MAGNETIC FIELD MEASURING DEVICE, AND MAGNETIC FIELD MEASURING SYSTEM

• Main Authors: HATO Tsunehiro, TANABE Keiichi, MOTOORI Masayuki, ISHIKAWA Hidehiro, TSUKAMOTO Akira
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 16.05.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

In order to lower a magnetic field measuring element in the height direction thereof while reducing interference, this magnetic field measuring element is characterized by comprising a Superconducting QUantum Interference Device (SQUID) magnetic sensor (1z), a SQUID magnetic sensor (1x) disposed either on a second plane which is perpendicular to a first plane including a coil surface of the SQUID magnetic sensor (1z) and which includes the center of the SQUID magnetic sensor (1z), or in the vicinity of the second plane, and a SQUID magnetic sensor (1y) disposed either on a third plane perpendicular to the first plane and the second plane, or in the vicinity of the third plane, wherein the center of the SQUID magnetic sensor (1x) is present either on a straight line which passes through the center of the SQUID magnetic sensor (1z) and is perpendicular to the first plane, or in the vicinity of said straight line, and the center of the SQUID magnetic sensor (1y) is present in a position displaced from a line joining the center of the SQUID magnetic sensor (1z) and the center of the SQUID magnetic sensor (1x). L'invention concerne un élément de mesure de champ magnétique qui, afin de réduire un élément de mesure de champ magnétique dans sa direction de hauteur tout en réduisant l'interférence, se caractérise en ce qu'il comprend un capteur magnétique d'interféromètre quantique supraconducteur (SQUID) (1z), un capteur magnétique de SQUID (1x) disposé soit sur un deuxième plan qui est perpendiculaire à un premier plan comprenant une surface de bobine du capteur magnétique de SQUID (1z) et qui comprend le centre du capteur magnétique de SQUID (1z), soit à proximité du deuxième plan, et un capteur magnétique de SQUID (1y) disposé soit sur un troisième plan perpendiculaire au premier plan et au deuxième plan, soit au voisinage du troisième plan, le centre du capteur magnétique de SQUID (1x) étant présent soit sur une ligne droite qui passe par le centre du capteur magnétique de SQUID (1z) et qui est perpendiculaire au premier plan, soit au voisinage de ladite ligne droite, et le centre du capteur magnétique de SQUID (1y) est présent dans une position décalée par rapport à une ligne joignant le centre du capteur magnétique de SQUID (1z) et le centre du capteur magnétique de SQUID (1x). 干渉を小さくしつつ、磁場測定素子の高さ方向を低くするため、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｚ）と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｚ）のコイル面を含む第１の平面に対して、垂直であり、かつ、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｚ）の中心を含む第２の平面もしくは第２の平面の近傍に設置されるＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｘ）と、第１の平面及び第２の平面に対して垂直な第３の平面もしくは第３の平面の近傍に設置されるＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｙ）と、を有し、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｘ）の中心は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｚ）の中心を通り、かつ、第１の平面に対して垂直な直線上もしくは当該直線の近傍に存在し、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｙ）の中心は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｚ）の中心と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ（１ｘ）の中心とを結んだ線からずれた位置に存在することを特徴とする。