INSPECTION SYSTEM AND INSPECTION METHOD

• Main Authors: YAMAURA, Kenya, HASEGAWA, Daichi, SATO, Shingo, ENDO, Masahiro, YAMAURA, Takashi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.05.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

A system 100 has: a movement table (40) which includes a clamp (41) for holding the outer-peripheral sides of a workpiece (2) which includes a through-hole (3); an inspection head (10) which inserts into and withdraws from the through-hole an inspection probe (12) for scanning the inner-circumferential surface of the through-hole by outputting an inspection light from the tip thereof through a first opening (3a) on one side of the through-hole (3) in the workpiece at a first position (P1) to which the workpiece is transported by the movement table; a preliminary test unit (5) for inserting a dummy probe (51) into the interior of the through-hole and withdrawing the same therefrom through a second opening (3b) on the other side of the through-hole in the workpiece at the first position; and a unit (47) for verifying whether there is contact between the workpiece and the dummy probe. L'invention concerne un système (100) comprenant : une table de déplacement (40) qui comprend une pince (41) permettant de maintenir les côtés périphériques externes d'une pièce à travailler (2) qui comprend un trou traversant (3) ; une tête d'inspection (10) qui s'insère dans le trou traversant et se retire de ce dernier ; une sonde d'inspection (12) permettant de balayer la surface circonférentielle interne du trou traversant par l'émission d'une lumière d'inspection depuis sa pointe à travers une première ouverture (3a) sur un côté du trou traversant (3) dans la pièce à travailler vers une première position (P1) au niveau de laquelle la pièce à travailler est transportée par la table de déplacement ; une unité de test préliminaire (5) permettant d'insérer une sonde factice (51) à l'intérieur du trou traversant et de la retirer de ce dernier par une seconde ouverture (3b) sur l'autre côté du trou traversant dans la pièce à travailler au niveau de la première position ; et une unité (47) permettant de vérifier s'il existe un contact entre la pièce à travailler et la sonde factice. システム１００は、貫通孔（３）を含むワーク（２）の外周側を保持するクランプ（４１）を含む移動テーブル（４０）と、移動テーブルによりワークが搬送される第１の位置（Ｐ１）で、ワークの貫通孔（３）の一方の側の第１の開口（３ａ）から、先端から検査光を出力して貫通孔の内周面をスキャンする検査プローブ（１２）を貫通孔に出し入れする検査ヘッド（１０）と、第１の位置で、ワークの貫通孔の他方の側の第２の開口（３ｂ）から、ダミープローブ（５１）を貫通孔の内部に出し入れする予備テストユニット（５０）と、ダミープローブとワークとの接触の有無を確認するユニット（４７）とを有する。