INSPECTION SYSTEM AND INSPECTION METHOD

• Main Authors: YAMAURA, Kenya, HASEGAWA, Daichi, SATO, Shingo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.05.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

An inspection system (1) having a hollow inspection head (10) which extends in a rod shape along a center axis (11), a rotation unit (20) which rotates the inspection head around the center axis (11), an optical system (30) which supplies a laser beam for inspection along the center axis (11) through the interior of the inspection head (10), and receives reflected light from the surface (4) of an inspection target (2) which is returned along the center axis, and an optical element (50) which is positioned at or near the tip of the inspection head, emits the laser beam for inspection toward the inspection target, and guides the reflected light in the center axis direction, wherein the optical element has a reflection surface capable of tilting in a manner such that the normal line thereof relative to the center axis forms an angle θ, and the angle θ satisfies the condition of 46°≤θ≤55°. La présente invention concerne un système d'inspection (1) comportant une tête d'inspection creuse (10) qui s'étend en forme de tige le long d'un axe central (11), une unité de rotation (20) qui fait tourner la tête d'inspection autour de l'axe central (11), un système optique (30) qui fournit un faisceau laser pour inspection le long de l'axe central (11) à travers l'intérieur de la tête d'inspection (10), et reçoit la lumière réfléchie par la surface (4) d'une cible d'inspection (2) qui est renvoyée le long de l'axe central, et un élément optique (50) qui est positionné au niveau ou à proximité de la pointe de la tête d'inspection, émet le faisceau laser pour inspection vers la cible d'inspection, et guide la lumière réfléchie dans la direction de l'axe central, l'élément optique ayant une surface de réflexion capable de s'incliner de telle manière que la ligne normale de celle-ci par rapport à l'axe central forme un angle θ, et l'angle θ satisfaisant à la condition de 46° ≤ θ ≤ 55°. 検査システム（１）は、中心軸（１１）に沿って棒状に延びた中空の検査ヘッド（１０）と、検査ヘッドを中心軸の周りに回転する回転ユニット（２０）と、検査ヘッド（１０）内を通じて、中心軸（１１）に沿って検査用のレーザー光を供給し、中心軸に沿って戻された被検査物（２）の表面（４）からの反射光を受光する光学システム（３０）と、検査ヘッドの先端近傍または先端に配置された光学素子（５０）であって、検査用のレーザー光を被検査物に向けて出射するとともに反射光を前記中心軸方向に導く光学素子とを有し、光学素子は、中心軸に対して、法線が角度θで傾くことが可能な反射面を含み、角度θが以下の条件を満たす。　４６度≦θ≦５５度