SENSOR IC

• Main Authors: SAITO, Akira, MITSUNAKA, Takeshi, ASHIDA, Nobuyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 31.01.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

The present invention makes it possible to reduce the possibility of the occurrence of variance in sensing results. A dielectrophoretic electrode (21) generates dielectrophoresis between a subject to be inspected and the dielectrophoretic electrode, and a distance (d1) between an inductor (15) and an upper surface (20s) of a protection film (20) is longer than a distance (d2) between an electrode unit (18) and the upper surface (20s) of the protection film (20), and is also longer than a distance (d2) between the dielectrophoretic electrode (21) and the upper surface (20s) of the protection film (20). La présente invention permet de réduire la possibilité d'apparition de variance dans des résultats de détection. Une électrode diélectrophorétique (21) génère une diélectrophorèse entre un sujet à inspecter et l'électrode diélectrophorétique, et une distance (d1) entre un inducteur (15) et une surface supérieure (20s) d'un film de protection (20) est supérieure à une distance (d2) entre une unité d'électrode (18) et la surface supérieure (20s) du film de protection (20), et est également supérieure à une distance (d2) entre l'électrode diélectrophorétique (21) et la surface supérieure (20s) du film de protection (20). センシング結果にバラつきが生じる虞を低減することを可能とする。誘電泳動電極（２１）は、被検査体との間で誘電泳動を発生させ、保護膜（２０）の上面（２０ｓ）とインダクタ（１５）との距離（ｄ１）は、保護膜（２０）の上面（２０ｓ）と電極部（１８）との距離（ｄ２）より大きく、かつ、保護膜（２０）の上面（２０ｓ）と誘電泳動電極（２１）との距離（ｄ２）より大きい。