SYSTEM FOR FORMING NANO-LAMINATE OPTICAL COATING

• Main Authors: BLUCK, Terry, BLONIGAN, Wendell Thomas
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 24.01.2019
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

A processing system for forming an optical coating on a substrate is provided, wherein the optical coating including an anti-reflective coating and an oleophobic coating, the system comprising: a linear transport processing section configured for processing and transporting substrate carriers individually and one at a time in a linear direction; at least one evaporation processing system positioned in the linear transport processing system, the evaporation processing system configured to form the oleophobic coating; a batch processing section configured to transport substrate carriers in unison about an axis; at least one ion beam assisted deposition processing chamber positioned in the batch processing section, the ion beam assisted deposition processing chamber configured to deposit layer of the anti-reflective coating; a plurality of substrate carriers for mounting substrates; and, means for transferring the substrate carriers between the linear transport processing section and the batch processing section without exposing the substrate carrier to atmosphere. L'invention concerne un système de traitement pour former un revêtement optique sur un substrat, le revêtement optique comprenant un revêtement antireflet et un revêtement oléophobe, le système comprenant : une section de traitement de transport linéaire conçue pour traiter et transporter des supports de substrat individuellement et un à la fois dans une direction linéaire ; au moins un système de traitement d'évaporation positionné dans le système de traitement de transport linéaire, le système de traitement d'évaporation étant conçu pour former le revêtement oléophobe ; une section de traitement par lots conçue pour transporter des supports de substrat à l'unisson autour d'un axe ; au moins une chambre de traitement de dépôt assisté par faisceau d'ions positionnée dans la section de traitement par lots, la chambre de traitement de dépôt assisté par faisceau d'ions étant conçue pour déposer une couche du revêtement antireflet ; une pluralité de supports de substrat pour monter des substrats ; et des moyens pour transférer les supports de substrat entre la section de traitement de transport linéaire et la section de traitement par lots sans exposer le support de substrat à l'atmosphère.