OPTICAL DEVICE

• Main Authors: SUGIMOTO Tatsuya, SUZUKI Tomofumi, KOTANI Kyosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.01.2019
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING; TRANSPORTING

This optical device is provided with: an elastic support section for supporting a movable section so that the movable section is capable of moving along a first direction; a first comb electrode comprising a plurality of first comb teeth; and a second comb electrode comprising a plurality of second comb teeth. The elastic support section comprises a torsion bar extending along a second direction perpendicular to the first direction and a nonlinear relaxation spring connected between the torsion bar and the movable section. The nonlinear relaxation spring is configured so that when the movable section has moved in the first direction, the deformation amount of said nonlinear relaxation spring around the second direction becomes smaller than the deformation amount of the torsion bar around the second direction and the deformation amount of said nonlinear relaxation spring in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction becomes larger than the deformation amount of the torsion bar in the third direction. First comb teeth and second comb teeth that are adjacent to each other face each other in the second direction. Selon la présente invention, ce dispositif optique comprend : une section de support élastique destinée à supporter une section mobile de telle sorte que la section mobile puisse se déplacer le long d'une première direction ; une première électrode de peigne comprenant une pluralité de premières dents de peigne ; et une deuxième électrode de peigne comprenant une pluralité de deuxièmes dents de peigne. La section de support élastique comprend une barre de torsion s'étendant le long d'une deuxième direction perpendiculaire à la première direction et un ressort de détente non linéaire connecté entre la barre de torsion et la section mobile. Le ressort de détente non linéaire est configuré de telle sorte que lorsque la section mobile s'est déplacée dans la première direction, la quantité de déformation dudit ressort de détente non linéaire autour de la deuxième direction devienne inférieure à la quantité de déformation de la barre de torsion autour de la deuxième direction et que la quantité de déformation dudit ressort de détente non linéaire dans une troisième direction perpendiculaire à la première direction et à la deuxième direction devienne plus grande que la quantité de déformation de la barre de torsion dans la troisième direction. Des premières dents de peigne et des deuxièmes dents de peigne qui sont adjacentes l'une à l'autre se font face dans la deuxième direction. 光学デバイスは、可動部が第１方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備える。弾性支持部は、第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバーと、トーションバーと可動部との間に接続された非線形性緩和バネと、を有する。非線形性緩和バネは、可動部が第１方向に移動した状態において、第２方向周りにおける非線形性緩和バネの変形量が第２方向周りにおけるトーションバーの変形量よりも小さくなり、且つ、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向における非線形性緩和バネの変形量が第３方向におけるトーションバーの変形量よりも大きくなるように、構成されている。隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とは、第２方向において互いに向かい合っている。