OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

• Main Authors: SUGIMOTO Tatsuya, SUZUKI Tomofumi, KOTANI Kyosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.01.2019
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING; TRANSPORTING

The purpose of the present invention is to provide an optical device, and a method for manufacturing the same, with which it is possible to move a movable part a great deal along a prescribed direction while suppressing sticking. This optical device (10) comprises: a base (12); a movable part (11) having an optical function part (11a); elastic support parts (14, 15) that support the movable part (11) such that the movable part is capable of moving along a first direction; a first comb-tooth electrode (161) provided to the base (12); and a second comb-tooth electrode (162) provided to the movable part (11) and/or the elastic support parts (14, 15), the second comb-tooth electrode having a plurality of second comb teeth. The elastic support parts (14, 15) have torsion bars (147, 157) extending along a second direction perpendicular to the first direction, and levers (141, 151) to which the torsion bars (147, 157) are connected. The second comb-tooth electrode (162) is provided to a portion of the movable part and/or the elastic support parts that is positioned closer to the optical function part (11a) than are the torsion bars (147, 157). Adjacent first teeth (161a) and second teeth (162a) mesh with each other in the direction, among the second direction and a third direction perpendicular to the first direction and to the second direction, in which the external force resistance of the movable part is greatest. La présente invention a pour objet de fournir un dispositif optique, et son procédé de fabrication, au moyen desquels il est possible de grandement déplacer une partie mobile le long d'une direction prescrite tout en supprimant l'adhérence. Ledit dispositif optique (10) comprend : une base (12) ; une partie mobile (11) comprenant une partie de fonction optique (11a) ; des parties de support élastiques (14, 15) qui supportent la partie mobile (11) de telle sorte que la partie mobile puisse se déplacer le long d'une première direction ; une première électrode en forme de peigne (161) disposée sur la base (12) ; et une deuxième électrode en dents de peigne (162) disposée sur la partie mobile (11) et/ou les parties de support élastiques (14, 15), la deuxième électrode en dents de peigne comprenant une pluralité de deuxièmes dents de peigne. Les parties de support élastiques (14, 15) comprennent des barres de torsion (147, 157) s'étendant le long d'une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, et des leviers (141, 151) auxquels les barres de torsion (147, 157) sont reliées. La deuxième électrode en dents de peigne (162) est disposée sur une partie de la partie mobile et/ou les parties de support élastiques qui sont positionnées plus près de la partie de fonction optique (11a) que ne le sont les barres de torsion (147, 157). Des premières dents (161a) et des deuxièmes dents (162a) adjacentes s'engrènent mutuellement dans la direction, parmi la deuxième direction et une troisième direction perpendiculaires à la première direction et à la deuxième direction, dans laquelle la résistance à la force externe de la partie mobile est la plus grande. 本発明は、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。 本発明の光学デバイス（１０）は、ベース（１２）と、光学機能部（１１ａ）を有する可動部（１１）と、可動部（１１）が第１方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部（１４，１５）と、ベース（１２）に設けられた第１櫛歯電極（１６１）と、可動部（１１）及び弾性支持部（１４，１５）の少なくとも一方に設けられた複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極（１６２）と、を備える。弾性支持部（１４，１５）は、第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバー（１４７，１５７）と、トーションバー（１４７，１５７）が接続されたレバー（１４１，１５１）と、を有する。第２櫛歯電極（１６２）は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバー（１４７，１５７）よりも光学機能部側（１１ａ）に位置する部分に設けられている。隣り合う第１櫛歯（１６１ａ）と第２櫛歯（１６２ａ）とは、第２方向、又は、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向のうち、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。