OPTICAL DEVICE

• Main Authors: SUGIMOTO Tatsuya, SUZUKI Tomofumi, KOTANI Kyosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.01.2019
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING; TRANSPORTING

The purpose of the present invention is to provide an optical device with which it is possible to suppress reductions in the movability performance of a movable mirror and suppress increases in the size of the device overall while increasing the size of a mirror surface of the movable mirror. This optical device (10) comprises a base (12) having a main surface, a movable mirror (11) having a mirror surface along a parallel surface that is parallel to the main surface, a first elastic support part (14) and a second elastic support part (15) that support the movable mirror so as to be capable of moving along a first direction perpendicular to the main surface, an actuator part (16) that moves the movable mirror along the first direction, and a first optical function part (17) that is disposed on one side of the movable mirror in a second direction perpendicular to the first direction. The first elastic support part (14) has a pair of first levers (141) that extend from the movable mirror (11) along the main surface on both sides of the first optical function part in a third direction perpendicular to the first direction and to the second direction. The length (A1) of each of the pair of first levers (141) in the second direction is greater than the shortest distance (D1) between the outer edge of the mirror surface (11a) and the edge of the first optical function part (17). L'objet de la présente invention est de fournir un dispositif optique permettant de supprimer des réductions des performances de mobilité d'un miroir mobile et de supprimer des augmentations de la taille du dispositif en augmentant la taille d'une surface de miroir du miroir mobile. Ce dispositif optique (10) comprend une base (12) ayant une surface principale, un miroir mobile (11) ayant une surface de miroir le long d'une surface parallèle qui est parallèle à la surface principale, une première partie de support élastique (14) et une seconde partie de support élastique (15) qui supportent le miroir mobile de sorte à pouvoir se déplacer le long d'une première direction perpendiculaire à la surface principale, une partie actionneur (16) qui déplace le miroir mobile le long de la première direction, et une première partie de fonction optique (17) qui est disposée sur un côté du miroir mobile dans une deuxième direction perpendiculaire à la première direction. La première partie de support élastique (14) comprend une paire de premiers leviers (141) qui s'étendent à partir du miroir mobile (11) le long de la surface principale sur les deux côtés de la première partie de fonction optique dans une troisième direction perpendiculaire à la première direction et à la deuxième direction. La longueur (A1) de chaque levier de la paire de premiers leviers (141) dans la deuxième direction est supérieure à la distance la plus courte (D1) entre le bord extérieur de la surface (11a) de miroir et le bord de la première partie de fonction optique (17). 本発明は、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる光学デバイスを提供することを目的とする。 本発明の光学デバイス（１０）は、主面を有するベース（１２）と、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有する可動ミラー（１１）と、主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるように可動ミラーを支持する第１弾性支持部（１４）及び第２弾性支持部（１５）と、第１方向に沿って可動ミラーを移動させるアクチュエータ部（１６）と、第１方向に垂直な第２方向における可動ミラーの一方の側に配置された第１光学機能部（１７）と、を備える。第１弾性支持部（１４）は、可動ミラー（１１）から、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向における第１光学機能部の両側に、主面に沿って延在する一対の第１レバー（１４１）を有する。第２方向における一対の第１レバー（１４１）のそれぞれの長さ（Ａ１）は、ミラー面（１１ａ）の外縁と第１光学機能部（１７）の縁との間の最短距離（Ｄ１）よりも大きい。