CHARGED-PARTICLE BEAM DEVICE AND CLEANING METHOD

• Main Authors: HOSOYA Kotaro, MORIKAWA Akinari
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.12.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

This charged-particle beam device comprises: a stage for placing a sample thereon; a cleaner for removing a contaminating substance present on the sample; and a stage control unit for moving the stage, thereby adjusting the relative positional relationship between the cleaner and the sample when using the cleaner. L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées qui comprend : un étage pour placer un échantillon sur celui-ci ; un dispositif de nettoyage pour éliminer une substance contaminante présente sur l'échantillon ; et une unité de commande d'étage pour déplacer l'étage, ajustant ainsi la relation de position relative entre le dispositif de nettoyage et l'échantillon lors de l'utilisation du dispositif de nettoyage. 荷電粒子線装置は、試料を載置するステージと、前記試料上の汚染物質を除去するクリーナと、前記クリーナの使用時に、前記クリーナと前記試料との相対的な位置関係を、前記ステージを移動させることにより調節するステージ制御部と、を備える。