WORKPIECE CUTTING METHOD

• Main Authors: OGIWARA Takafumi, KUCHIKI Mikiharu, KONDOH Yuta, SAKAMOTO Takeshi, KINDA Hidefumi, KURITA Daisuke, UCHIYAMA Naoki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 29.11.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

This workpiece cutting method comprises: a first step for attaching an expandable sheet to the front or back surface of a workpiece; a second step for, after the first step, forming a modified region by irradiating the workpiece with a laser beam along planned cutting lines, dividing at least a part of the workpiece into a plurality of chips by expanding the expandable sheet, and forming gaps which are disposed between the plurality of chips and which each extend to a side surface, of the workpiece, intersecting the front and back surfaces; a third step for, after the second step, filling the gaps with a resin from an outer edge section including the side surface of the workpiece; a fourth step for, after the third step, curing and shrinking the resin; and a fifth step for, after the fourth step, taking the chips out from the expandable sheet. La présente invention concerne un procédé de découpe de pièce, comprenant : une première étape consistant à fixer une feuille dilatable sur la surface avant ou arrière d'une pièce ; une deuxième étape consistant à former, après la première étape, une région modifiée par exposition de la pièce au rayonnement d'un faisceau laser le long de lignes de découpe planifiées, à diviser au moins une partie de la pièce en une pluralité de puces par dilatation de la feuille dilatable, et à former des espaces qui sont disposés entre la pluralité de puces et qui s'étendent chacun vers une surface latérale de la pièce, croisant les surfaces avant et arrière ; une troisième étape consistant, après la deuxième étape, à remplir les espaces à l'aide d'une résine, à partir d'une section de bord externe comprenant la surface latérale de la pièce ; une quatrième étape consistant, après la troisième étape, à faire durcir et se rétracter la résine ; et une cinquième étape consistant, après la quatrième étape, à éliminer les copeaux de la feuille dilatable. 加工対象物切断方法は、加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第１工程と、第１工程の後、切断予定ラインに沿って加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、拡張可能シートを拡張することにより、加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第２工程と、第２工程の後、加工対象物における側面を含む外縁部から隙間に樹脂を充填する第３工程と、第３工程の後、樹脂を硬化させて収縮させる第４工程と、第４工程の後、拡張可能シート上からチップを取り出す第５工程と、を含む。