MAGNETIC SENSOR

• Main Authors: MIYAZAKI Hideki, MAEKAWA Kazunobu, KATO Shinsuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.11.2018
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

Provided is an accurate high-sensitivity magnetic sensor 10. A soft magnetic film 44 is electrodeposited on a surface of a conductor portion 42, thereby enabling an excitation magnetic field Be to be generated in the soft magnetic film 44 by a current Ie being caused to flow in the conductor portion 42 by an electric current supply unit 22, and enabling a detection field generated by a change in a magnetic moment of the soft magnetic film 44 between a state in which the excitation magnetic field Be is not being applied and a state of being magnetized by the applied magnetic field Be to be detected by a coil 50 in order to perform magnetic detection. The magnetic moment of the soft magnetic film 44 is oriented in the circumferential direction of the conductor portion 42, orthogonal to the longitudinal direction of the conductor portion 42, and magnetic moments in mutually opposite directions are distributed in substantially equal amounts, and it is therefore possible for the sensor output to have a satisfactory linearity with respect to an external magnetic field Bex being measured by the magnetic sensor 10. La présente invention concerne un capteur magnétique précis à haute sensibilité (10). Un film magnétique doux (44) est électrodéposé sur une surface d'une partie conductrice (42), ce qui permet à un champ magnétique d'excitation (Be) d'être généré dans le film magnétique doux (44) par un courant (Ie) qui est forcé de passer dans la partie conductrice (42) par une unité d'alimentation en courant électrique (22), et permet à un champ de détection généré par un changement d'un moment magnétique du film magnétique doux (44) entre un état dans lequel le champ magnétique d'excitation (Be) n'est pas appliqué et un état d'être magnétisé par le champ magnétique appliqué (Be) d'être détecté par une bobine (50) afin d'effectuer une détection magnétique. Le moment magnétique du film magnétique doux (44) est orienté dans la direction circonférentielle de la partie conductrice (42), orthogonale à la direction longitudinale de la partie conductrice (42), et des moments magnétiques dans des directions mutuellement opposées sont distribués dans des quantités sensiblement égales, et il est donc possible que la sortie de capteur présente une linéarité satisfaisante par rapport à un champ magnétique externe (Bex) mesuré par le capteur magnétique (10). 精度のよい高感度な磁気センサ１０を提供する。　軟磁性膜４４は、導体部４２の表面に電着されているので、電流供給部２２が導体部４２に電流Ｉｅを流すことにより軟磁性膜４４に励磁磁界Ｂｅを発生させることができ、軟磁性膜４４の磁気モーメントが励磁磁界Ｂｅの印加されていない状態と印加磁界Ｂｅによって磁化させられた状態との間で変化することによって生ずる検出磁界をコイル５０が検出することで磁気検出を行うことができる。軟磁性膜４４の磁気モーメントは、導体部４２の長手方向に直交する導体部４２の周方向に配向されたものであり、相互に反対向きの磁気モーメントが略等量に分布しているので、磁気センサ１０により測定しようとする外部磁界Ｂｅｘに対するセンサ出力の線形性を良好なものとすることができる。