POWER CONVERTER UNIT, PLASMA PROCESSING EQUIPMENT AND METHOD OF CONTROLLING SEVERAL PLASMA PROCESSES

• Main Authors: RUDA, Krzysztof, ENGELSTAEDTER, Jan Peter, OZIMEK, Pawel, SWIATNICKI, Jakub
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 01.11.2018
• Subjects: APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC,OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWERSUPPLY SYSTEMS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; CONTROL OR REGULATION THEREOF; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUTPOWER; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; GENERATION; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Power converter unit (1, 1') capable to convert an electrical input power into a bipolar output power and to deliver this output power to at least two independent plasma processing chambers (9a, 9b.. 9n), the unit (1, 1') comprising : one power input port (2) for connection to an electrical power delivering grid (7), at least two, preferably more than two, power output ports (3a, 3b,.. 3n) each for connection to one of the plasma process chambers (9a, 9b,... 9n), a control device (4) configured to control the unit (1, 1') to deliver the bipolar output power to the power output ports (3a, 3b,.. 3n), using control parameters of at least one of: power, voltage, current, excitation frequency, or threshold for protective measures, such that at least one of the control parameters at a first power output port (3a) is different from the corresponding control parameter at a different power output port (3b,... 3n). L'invention concerne une unité de convertisseur de secteur (1, 1') capable de convertir une puissance d'entrée électrique en une puissance de sortie bipolaire et de délivrer cette puissance de sortie à au moins deux chambres de traitement au plasma (9a, 9b,... 9n) indépendantes, l'unité (1, 1') comprenant : un port d'entrée de puissance (2) destiné à être connecté à un réseau de distribution d'énergie électrique (7), au moins deux, de préférence plus de deux, ports de sortie de puissance (3a, 3b,... 3n) destinés chacun à être connectés à l'une des chambres de traitement au plasma (9a, 9b,... 9n), un dispositif de commande (4) conçu pour commander l'unité (1, 1') en vue de délivrer la puissance de sortie bipolaire aux ports de sortie de puissance (3a, 3b,... 3n), à l'aide de paramètres de commande d'au moins un élément parmi : la puissance, la tension, le courant, la fréquence d'excitation ou le seuil pour des mesures de protection, de telle sorte qu'au moins l'un des paramètres de commande au niveau d'un premier port de sortie de puissance (3a) est différent du paramètre de commande correspondant au niveau d'un port de sortie de puissance (3b,... 3n) différent.