METHODS AND SYSTEMS FOR INLINE PARTS AVERAGE TESTING AND LATENT RELIABILITY DEFECT DETECTION

• Main Authors: SUTHERLAND, Douglas G, PRICE, David W, CAPPEL, Robert, RATHERT, Robert J, SHERMAN, Kara L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.09.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Methods and systems for inline parts average testing and latent reliability defect recognition or detection are disclosed. An inline parts average testing method may include: performing inline inspection and metrology on a plurality of wafers at a plurality of critical steps during wafer fabrication; aggregating inspection results obtained from inline inspection and metrology utilizing one or more processors to obtain a plurality of aggregated inspection results for the plurality of wafers; identifying one or more statistical outliers among the plurality of wafers at least partially based on the plurality of aggregated inspection results obtained for the plurality of wafers; and disqualifying the one or more statistical outliers from entering a supply chain for a downstream manufacturing process, or segregating the one or more statistical outliers for further evaluation, testing or repurposing. L'invention concerne des procédés et des systèmes pour un test moyen de parties en ligne et une reconnaissance ou une détection de défaut de fiabilité latente. Un procédé de test moyen de parties en ligne peut comprendre : la réalisation d'une inspection et d'une métrologie en ligne sur une pluralité de tranches à une pluralité d'étapes critiques pendant la fabrication de tranche ; l'agrégation de résultats d'inspection obtenus à partir d'une inspection et d'une métrologie en ligne utilisant un ou plusieurs processeurs pour obtenir une pluralité de résultats d'inspection agrégés pour la pluralité de tranches ; l'identification d'une ou plusieurs valeurs aberrantes statistiques parmi la pluralité de tranches au moins partiellement sur la base de la pluralité de résultats d'inspection agrégés obtenus pour la pluralité de tranches ; et la disqualification de la ou des valeurs aberrantes statistiques de l'entrée dans une chaîne d'approvisionnement pour un processus de fabrication en aval, ou la séparation de la ou des valeurs aberrantes statistiques en vue d'une évaluation, d'un test ou d'une réorientation supplémentaires.